艾里卡特 MCT系列换流型气体质量流量控制器性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）

• 可调比：200：1（MCT系列）或者100：1（MCTS系列）

• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）

• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）

• 可重复性：0.2%满量程

• 标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）

• 无需预热时间

艾里卡特 MCT系列换流型气体质量流量控制器工作条件

• 兼容气体：98种（MCT系列）或130种（MCTS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

• 工作温度：-10°C至+60°C

• 大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）

• 耐受压力：175 psig（190 psia）

• STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

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艾里卡特 MCT系列换流型气体质量流量控制器：在多向气体质量流量控制器中，MCT系列换流型气体质量流量控制器可以减少库存并清理工作场所。位于上游的两个阀门允许切换气源。位于下游的两个阀门允许在单个气源上运行两个独立的过程系统。我们将根据您的应用参数，为您定制阀门和PID功能，确保实现各个方向的快速、温度控制。