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商品编号：94158

MCQ系列高压气体质量流量控制器

价  格：询价

产  地：更新时间：2021-03-30 17:01

品  牌：其他型  号：

状  态：正常点击量：1048

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MCQ系列高压气体质量流量控制器 性能

  • 可用量程：大0-5000 slpm；小0-10 sccm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）

  • 可调比：50:1

  • 校准精度（NIST可溯源）：±2%满量程

  • 可重复性：0.2%满量程

  • 标准控制器响应时间常数：50-100ms

  • 无需预热时间


产品参数

MCQ系列高压气体质量流量控制器 工作条件

  • 兼容气体：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

  • 工作温度：-10°C至+60°C

  • 大内部压力（静态）：305 psig（320 psia）

  • 耐受压力：400 psig（415 psia）

  • STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）



产品介绍



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