BASIS系列OEM气体质量流量控制器
价 格：询价
产 地：更新时间：2021-03-29 17:21
品 牌：其他型 号：
状 态：正常点击量：2941
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产品参数
性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（参见零件编号标签）
可调比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校准精度（NIST可溯源）：±（1.5%读数+0.5%满量程）
可重复性：0.5%满量程
标准控制器响应时间常数：100ms（可利用PID调节功能调节）
预热时间：70ms，达到完整精度
工作条件
兼容气体：空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮（可通过串行连接选择气体）；订购时还可以选择氦气或氢气校准（仅使用一种气体）
工作温度：0°C至+50°C
大内部压力（静态）：对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
沪公网安备31011502016460号
