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MCD系列双向气体质量流量控制器

价  格:询价

产  地:更新时间:2021-03-29 17:20

品  牌:其他型  号:

状  态:正常点击量:1792

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上海非利加实业有限公司

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传   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快递

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产品参数

性能

  • 可用量程:大-5000至+5000 slpm;小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)

  • 标准精度:±(0.8%读数+0.2%满量程),双向

  • 高精度(选配):±(0.4%读数+0.2%满量程),双向

  • 可重复性:0.2%满量程

  • 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)

  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98种(MCD系列)或130种(MCDS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

  • 工作温度:-10°C至+60°C

  • 大内部压力(静态):145 psig(160 psia)

  • 耐受压力:175 psig(190 psia)

  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)



产品介绍




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