MCD系列双向气体质量流量控制器
价 格:询价
产 地:更新时间:2021-03-29 17:20
品 牌:其他型 号:
状 态:正常点击量:1792
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产品参数
性能
可用量程:大-5000至+5000 slpm;小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
标准精度:±(0.8%读数+0.2%满量程),双向
高精度(选配):±(0.4%读数+0.2%满量程),双向
可重复性:0.2%满量程
标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
无需预热时间
工作条件
兼容气体:98种(MCD系列)或130种(MCDS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度:-10°C至+60°C
大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)