MCT系列换流型气体质量流量控制器
价 格：询价
产 地：更新时间：2021-03-29 17:16
品 牌：其他型 号：
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产品参数
性能
可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
可调比：200：1（MCT系列）或者100：1（MCTS系列）
标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
可重复性：0.2%满量程
标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
无需预热时间
工作条件
兼容气体：98种（MCT系列）或130种（MCTS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
沪公网安备31011502016460号
