主要特点

1.      结构简单、多功能；

2.      平台配置可满足DC、RF和亚微米测量；

3.      独特的模块化设计可根据客户的需要配置和升***；

4.      量程大、可配探针配件；

应用

优越的应用灵活性使得M150能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试（DWC）、失效分析（FA）、亚微米探测、MEMS和光学工程测量；M150也能用作***个灵活的探头卡，实现wafer***的可靠性应用（WLR），能同时配备多达20个探针座。

标准平台规格参数：

  Cascade M150探针台

  用于实现灵活性和不打任何折扣之精度的新标准

Cascade Microtech 的 M150测量平台是***款结构简单、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台，解决了***系列的测量难题。该探针台采用了***种模块化设计，提供了众多的配置可能性，旨在满足诸如单切晶片至 150mm 晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。M150 可提供三种预配置的探针台，均针对您的应用及预算而优化。您可以通过确定*适合自己当前需要的 M150 模块来设计特有的探针台，或对自己现用的 M150 进行升***以满足未来的测量需求。