产品简介

极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

高温无氧化测试：

当晶圆加热至300℃,400℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。 

晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，CINDBEST针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

CGO探针台能够胜任的测试有：

CINDBEST CGO系列极高/低温真空环境探针台，开/闭循环制冷，标配控温范围：4.2K-480K，另可以根据客户需求订制。




应用领域

l 探针台应放在稳定可靠的台面上，是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。

l 使用*佳温度范围为5℃～40℃，*佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。

l 使用电源：220±10%，50~60Hz

 参数规格

配件

1、体式显微镜  （可选配高倍率晶相显微镜）

产品参数和特点


1．  鉴别力高，视场范围大，景深长。
2．  工作距离长至115mm。
3．  左右目镜屈光度可调正负5度，能满足不同视力的操作者观察。
4．  能随意调节手轮的力矩，满足不同操作者的使用习惯，更可以锁定手轮，方便定倍观察。
5．  本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1 ，物镜变倍范围0.8X-5X。
6．  双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm.

产品优点：

产品造型比较新颖
机械特性优越，操作舒适度高。
光学系统鉴别力达300线对以上，符合标准
超长的工作距离位于***内同行之***
独有的3A设计
创见性人机学设计，产品细节考虑全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防尘,防油防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘防油防水或其它污染－－－－-这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性－－－－－－使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电－－－－－－防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用领域：
教学示范，生物工程,IT产业检测，材料分析等领域。

2、JVC模拟CCD

Figure 9: LN2-PP1 Dewar Lid ａnd Pressure Relief Valve Detail  

                                       

特点

l 1/3寸CCD,44万像素

l 535电视线的水平分辨率

l 0.7Lux的照度（F1.2，25%，AGC开启）

l 50dB的高信噪比（AGC OFF）

l 内置10bit 数字图像处理器

Winfast XP100视频采集卡  

特性

l 可选择的影像来源信号

可以提供不同的输入端子，使其能够连接不同的影像

输出设备，如录放影机、***庭摄影机、雷射光碟机、

影音光碟机及CCD摄影机，提供全方位的解决方案。                        

● 可编辑剪接影像片段

可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉，并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或***般的图形档，再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体，便可加入各种***与剪接编辑。

3、探针夹具

●  管状式

测量微弱电流用，同时可接高压，采用进口triax线缆，前端管装屏蔽结构，漏电小于100FA，高压可耐1000V（需要配合屏蔽箱）

●  弹簧式 

使用便利，可用于较短时间的大电流（超过1安培）稳定性好，采用进口同轴线缆，精度漏电为10PA，输出BNC（male）接头

 

4、美***GGB探针

5、防震桌

特点：隔振支撑采用超薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术，隔振性能良好。自动水平，自动充气，全部气动执行元件采用德***FEST0产品，静音空气压缩机气源、噪声低。

应用范围：适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。

技术参数：

台面为三层夹心蜂窝状支撑结构，采用ICR17优质高导磁不锈钢

平台表面粗糙度0.5〜0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有频率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重复定位精度±0.10 mm

工作压力0.2~0.6(Mpa)

具体尺寸可根据客户需求定制

 6、探针臂：cindbestCB-80系列

特点

l 真空波纹管结构

l X-Y-Z 方向的移动行程分别为50mm

l 线性移动

l 精度5微米

l Triaxial (Female)高真空电信接口法兰

可升***到更高的移动精度

7、空气压缩机

规格：

l 电压：AC220V

l 功率：550W

l 流量：40L/min

l 转速：1380r/min

l 储气罐：8L

l 净重：14.5kg

功能

l 为防震平台提供压缩空气

特点

● 无油静音，特别适合实验室和洁净室使用。

● 7升/分钟，可24小时无间断运转。

8、高低温控制系统

l 两路PID温度控制

l 50W样品台直流加热

l 50W防辐射屏直流加热

l 温控范围：77K-500K(液氮)，4K-500K(液氦)

l PID温度控制器分辨率:0.1℃

l 传感器温度误差：任何***区段 0.5%

l 包含三只硅二极管温度传感器：样品台，辐射屏，探针臂

9、爱德华分子泵组

l 抽气速率(N2)：42l/s (采用NW40波纹管)

l 极限压力 5*10^-8 mbar

l 压缩比(N2):>1*10^11

10、40L液氮杜瓦罐

l 自增压

l 全不锈钢制造，容器强度高

l 可以调节压力和针阀精密流量控制

l 使用安全可靠、排液方便快速、静态液氮日蒸发率低

l 独特的罐体支架，罐体稳定性好

l 高强度大脚轮，移动更方便

l 双安全阀结构，确保产品使用安全

探针台的使用方法

1、 打开真空腔盖，将样品固定到样品台中心位置，然后盖上真空腔盖。

2、 检查真空腔体上所有真空阀门并确保都是处于关闭良好状态，启动真空泵。

3、 待真空度达到要求后，打开温度控制器，观察温度显示是否正常，如果正常进行下***步。

4、 打开液氮罐输液阀门，控制流量，让液氮缓慢流入样品台制冷腔，待温度降至基准温度后，调节温度控制器，设置目标温度，待稳定后进行下***步。

5、 将显微镜移到观察窗上方，调到倍率，调节焦距找到待测样品；逐步增大放大倍率，知道能清楚的观察待测样品的待测电极。

6、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，*后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

7、 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试


注意事项

 当您使用本仪器时，可能会碰到***些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。

维护和保养

.1 避免碰撞

l 在安装，操作探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。

6.2 仪器的运输

l 仪器运输时，请先拔掉电源线插头。

l 仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。

6.3 仪器的存放

l 使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。

l 探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。

l 探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。

l 停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.

l 操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。