原子力显微镜AFM探针:
探针的工作模式:主要分为 扫描(接触)模式和轻敲模式
探针的结构:悬臂梁+针尖
探针针尖曲率半径Tip Radius:一般为10nm到几十nm。
制作工艺:半导体工艺制作
常见的探针类型:
(1)、导电探针(电学):金刚石镀层针尖,性能比较稳定
(2)、压痕探针:金刚石探针针尖(分为套装和非套装的)
(3)、氮化硅探针:接触式(分为普通的和锐化的)
(4)、磁性探针:应用于MFM,通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备
(5)、电化学探针(STM): 电学接触式和电学轻敲式
(6)、FIB大长径比探针:测半导体结构,专为测量深的沟槽(深孔)以及近似铅垂的侧面而设计生产的。