规格
台体:
型号 CS-4/CS-6
样品台尺寸 4英寸/6英寸
水平旋转 可360度旋转,可微调15度,精度0.1度,带角度锁死装置
X-Y移动行程 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸
X-Y移动精度 10微米/1微米
样品固定 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环
针座平台 U型针座平台,*多可放置8个探针座
背电极测试 样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极
温度范围 室温到300度/室温到400度/室温到600度
温控精度 1度/0.1度/0.01度
稳定性 ±1度/±0.1度
外形尺寸 400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高/840mm长*600mm宽*700mm高
重量 约30千克/60千克/100千克
光学系统:
显微镜类型 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
放大倍率 16X-200X/20X-4000X
移动行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转,Z轴行程50.8mm
光源 外置LED环形光源/同轴光源
CCD 200万像素/500万像素/1200万像素
定位器:
X-Y-Z移动行程 12mm*12mm*12mm
移动精度 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式 磁力吸附/真空吸附
线缆 同轴线/三轴线
漏电精度 10pA/100fA/10fA
固定探针 弹簧固定/管状固定
接头类型 BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
针尖材质 钨钢/铍铜
可选附件
水冷装置
显示器
转接头
射频测试配件
屏蔽箱
光学平台
镀金卡盘
光电测试配件
高压测试配件
显微镜快速倾仰装置
激光系统
探针卡夹具