台

体

尺寸

8英寸

12英寸

水平旋转

可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

X-Y移动行程

8英寸*8英寸

12英寸*12英寸

X-Y移动精度

10微米/I微米

样品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台

*多可放置8个探针座

*多可放置10个探针座

平台升降

可快速升降6mm/可微调升降25mm

背电极测试

样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

显微镜

显微镜类型

单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移动行程

X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm

光源

外置LED环形光源/同轴光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素

探针座

X-Y-Z移动行程

12mm*12mm*12mm

移动精度

10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

探针夹具

线缆

同轴线/三轴线

漏电精度

10pA/100fA/10fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

探针

针尖直径

0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

材质

鸨钢/皱铜

外形

840mm 长 *600mm 宽 *700mm 高

950mm 长 *700mm 宽 *700mm 高

重量

约100千克

约150千克

可选附件

加热台

屏蔽箱

高压测试配件

显微镜快速倾仰装置

显小器

光学平台

激光系统

探针卡夹具

转接头

镀金卡盘

射频测试配件

光电测试配件

根据客户要求定制

真空吸附型Chuck

8" 不锈钢

Chuck X-Y轴行程

8" x8"

Chuck 旋转角度

0~360 度

针座平台上下粗调行程

6mm   通过升降杆调整

针座平台上下细粗行程

25 mm 通过旋转手轮

针座平台

可以放置8个针座

显微镜X-Y轴行程

2" x2"

需求

电力

220 VAC, 60Hz

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸

840mm长 x 660mm宽 x 700mm高(带显微镜)

重 180 Kg(带显微镜)

可选附件

Chuck快速拉出装置

显微镜倾仰装置

激光修复

探针卡夹具

加热台

高低温样品台(-80-200℃)

防震桌

显微镜暗场 / Normarski 检测

带真空底座的活动Chuck

光强/波长测试接口部件

射频测试探头和线缆

有源探头

 低电流/电容测试

高压测试/大电流测试

CCD视频系统

封装器件夹具

PCB板夹具

液晶热点侦测套装

屏蔽箱

镀金Chuck