气浮隔振光学平台

特点：内置精密空气弹簧隔振系统，具备**的固有频率，对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果，避免外界振动干扰设备仪器精度，提高仪器设备使用精度和使用效率。自动调节水平功能：放置负载的位置发生变化，平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压，自动保持水平。
应用范围：适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。

型号        大小(mm)    支撑腿数 螺纹孔 孔距（mm)
CBDT06-06 600x600x800    4       M6    25
CBDT09-06 900x600x800    4       M6    25
CBDT10-07 1000x700x800   4       M6    25
CBDT10-08 1000x800x800   4       M6    25
CBDT12-08 1200x800x800   4       M6    25
CBDT15-09 1500x900x800   4       M6    25
CBDT15-10 1500x1000x800  4       M6    25
CBDT16-09 1600x900x800   4       M6    25
CBDT18-12 1800x1200x800  4       M6    25
CBDT20-10 2000x1000x800  4       M6    25
CBDT20-12 2000x1200x800  4       M6    25
CBDT24-12 2400x1200x800  4       M6    25
CBDT30-10 3000x1000x800  4       M6    50
CBDT30-12 3000x1200x800  4       M6    50
CBDT30-15 3000x1500x800  4       M6    50
 

CINDBEST气浮隔振光学平台技术参数

可测片型：3 inch、  4 inch

测试硅片单元尺寸：20—200 mil

定位精度：≤ ±0.01mm/110mm

自动对准精度：±0.01mm

误测率：≤ 1 ‰

全自动对位时间：≤ 15 s

测试速度   45 mil   5.0 pcs/s

                 50 mil   4.6 pcs/s

                 87 mil   4.2 pcs/s

步进分辨率：0.001

Z向行程：0～5mm 可调

承片台转角θ调节范围：±20º

规格参数：该系列光学平台台面材料为Cr13不锈钢10.2碳钢10.6，内芯采用蜂窝支撑，合理的硬重比提供优良的抗振性能。精心加工的含磁不锈钢台面平面度高，乌光效果特别适用于光学实验，不**眼睛，减少杂散光。台面阵列的标准孔距螺纹孔便于固定各种调整架。特殊规格接受定制。  
平面度: 0.05mm/m2
孔距: 25mmX25mm
孔径: M6
粗糙度:<0.8um
表面密迪纹处理