CH8探针台

产品优势：8 英寸大行程高精度移动、针座平台可快速升降、 4000 倍的光学放大倍率、系统漏电精度高、可升***做射频测试、高温测试。

CH8探针台

技术参数

型号

技术参数

CH-8

台体

样品台尺寸

8 英寸

水平旋转

可 360 度旋转，可微调 15 度，精度 0.1 度，带角度锁死

装置

X-Y 移动行程

8 英寸*8 英寸

X-Y 移动精度

10 微米/1 微米

样品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台

*多可放置 8 个探针座

平台升降

可快速升降 6mm/可微调升降 25mm

背电极测试

样品台电学独立悬空，4mm 插孔可接背电极

显微镜

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移动行程

X-Y 轴行程 2 英寸*2 英寸，Z 轴行程 50.8mm

光源

外置 LED 环形光源/同轴光源

CCD

200 万像素/500 万像素/1200 万像素

探针座

X-Y-Z 移动行程

12mm*12mm*12mm

移动精度

10 微米/2 微米/0.7 微米/0.5 微米

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

探针夹具

线缆

同轴线/三轴线

漏电精度

10pA/100fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

探针

针尖直径

0.2 微米/1 微米/2 微米/5 微米/10 微米/20 微米

材质

钨钢/铍铜

外形

840mm 长*600mm 宽*700mm 高

重量

约 100 千克

可选附件

加热台、防震桌、屏蔽箱、探针卡夹具、射频测试组件

 CH8探针台介绍

CH-8 探针台是***款满足于 8 英寸样品及 8 英寸以下尺寸样品测试的探针台，具有优异的机械系统，203mm（8 英寸）大行程，高精度的特点，可满足晶圆测试、LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品测试，以及可升***做射频测试，广泛的应用保证了客户的***次性投资以及设备的使用率。