探针台的使用方法
1、 将样载入空卡盘，开启空阀门控制开关，使样安全且牢固地吸附在卡盘上。
2、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样。
3、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样待测试点移动至显微镜下。
4、 显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
5、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。
6、 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。
常见问题
当您使用本仪器时，可能会碰到些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。
症状 | 可能原因 | 解决方法 |
移动样后画面变模糊 | 显微镜不垂直 | 调垂直显微镜 |
样台不水平 | 调水平样台 |
样不平 | |
显微镜视场亮度不足，边缘切割或看不到像 | 转换器不在定位位置上 | 把转换器转到定位位置上 |
管镜转盘不在定位位置上 | 把管镜转盘转到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 调节光源亮度或者把孔径光栏孔调大 |
没有装目镜 | 装上目镜 |
没有装物镜 | 装上物镜 |
显微镜像质变差 | 目镜脏 物镜脏 管镜脏 | 对目镜，物镜，管镜脏的地方进行清洁 |
孔径光栏关的太大或者太小 | 调节孔径光栏 |
没有调好焦 | 调节调焦手轮 |
样本上盖有盖玻片等介质 | 移开盖玻片等介质 |
图像边清晰，边模糊 | 样本倾斜放置 | 放平样本，或者调节样台水平 |
物镜没有旋紧 | 旋紧物镜 |
眼睛容易疲劳 | 双目头的瞳距和操作者不匹配 | 调节双目头的瞳距 |
| 目镜视度调节不正确 | 调节目镜视度 |
| 照明亮度不合适 | 调节光源亮度或者孔径光栏孔 |
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