参数规格

CL系列总体规格特点                                                                                       

  重量:

         CL-4 50KG左右（带显微镜）

         CL-6 60KG左右（带显微镜）

         CL-8 80KG左右（带显微镜）

  尺寸：

         CL-4约 560mm宽*610mm长*550mm高（带显微镜）  

         CL-6 约600mm长*650mm宽*600mm高（带显微镜）

         CL-8 约640mm长*720mm宽*620mm高（带显微镜）

CL系列探针座台面规格

  探针台台面平整度：5µm。

  CL-4台面可以同时容纳8-10个探针座

    CL-6，CL-8分别可以同时容纳10-12个探针座

    CL-12台面可以同时容纳12个以上探针座

卡盘（载物台）规格  （可选配镀金卡盘，高温加热卡盘）

  卡盘尺寸分为4" ，6"，8"三种

卡盘平整度：5µm，采用空吸附方式吸附，带空吸附孔，中心孔径小可做到250微米（可根据客户需求定制孔径大小），小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，大能够吸住尺寸为4"X4"（6"X6"，8"X8"）。

  卡盘可30度旋转，方便点测时样在X-Y轴方向上调平。（根据客户需要可定制为360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮）。

  卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为4"X4"（6"X6"，8"X8"），移动精度为20um，配合针座的移动可以保证wafer上的die都能够准确点测到。