极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试:
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
光学系统:
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移动行程 | 水平360度旋转,Z轴行程50.8mm |
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
探针臂:
X-Y-Z移动行程 | 50mm*50mm*50mm |
结构 | 外置探针臂,真空波纹管结构 |
移动精度 | 10微米/1微米 |
线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 |
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
频率支持 | DC-67GHZ |
针尖直径 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
其他组件:
真空组件 | 分子泵组/机械泵/离子泵 |
冷源组件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机 |
可选附件
超高温配件 |
显示器 |
转接头 |
射频测试配件 |
屏蔽箱 |
光学平台 |
镀金卡盘 |
光电测试配件 |
高压测试配件 |
分子泵组 |
激光系统 |
气敏测试配件 |