CL系列 分为CL-4，CL-6，CL-8三个规格
CL系列探针台测量精度高，操作方便，符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。
2、仪器各部件名称：
（倾仰夹头） →
（面的夹头按需要可上下调节）
（将此滑套往后推，用镊子夹住探针推入夹针孔内） → 
(将锁紧螺母拧松，将夹具杆推入合适的位置)
CL-6探针测试台配件
1、高倍率金相显微镜（选配）
PSM-1000 工业显微镜 采用全新的体化设计，具有优异的光学成像质量，造型新颖，使用方便，并具有丰富的扩展功能，可以广泛应用于冶金、半导体、电子等行业的制造和研究域。 |
人机工程头部 PSM-1000E双目观察头可以在3-30 转动，调整观察眼点的高度和观察方向，使操作者的使用更加舒适。  | 管镜 PSM-1000 的管镜转盘上装有1X NUV 、1X NIR 和2X 管镜，三组管镜之间可以根据需要进行切换，切换简单、方便。其中1X NUV 对355nm 和532nm 波长进行了优化，1X NIR 对532nm 和1064nm 波长进行了优化，当使用这3 个波长的激光器时，可以得到更好的激光透过率。  |
光路切换拉杆 通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时，双目头和摄像接口的分光比为0： 100 ，此时从摄像接口上入射的激光*** 的进入光路，提高了激光效率；当转换器拉杆往里推时，双目头和摄像接口的分光比为50：50 ，此时即可用双目头观察，同时也可以在摄像接口上使用CCD 摄像头或激光器。
 | 偏光观察 主体上留有偏光插孔，插上偏光附件(选配件)，可进行偏光观察。  |
调焦机构 PSM-1000 的调焦机构转动舒适，工作可靠。调焦机构大可承载45 磅(20.4Kg) ，确保安装激光器和CCD 摄像头后，仍然能够正常工作。
 | 转换器 PSM-1000 采用4孔可调中转换器，使用随机配送的调中钥匙，可以很方便地调整物镜的齐中。  |
物镜 PSM-1000 采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜，提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO 物镜样本。
 | 照明系统 采用同轴垂直照明系统，光源采用外置冷光源。长达2m 的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000 带来更自由的操作空间。  |
激光装置 PSM-1000 的摄像接口处装有激光安全定位销，双目头留有安装激光安全滤色片的位置，并提供补偿垫片。无需用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上。 注: 在安装和使用激光器之，请您仔细阅读激光器和激光安全滤色片的使用手册。 
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2、体式显微镜 （可选配高倍率晶相显微镜）
产品参数和特点：
① 鉴别力高，视场范围大，景深长。
② 工作距离长至115mm。
③ 左右目镜屈光度可调正负5度，能满足不同视力的操作者观察。
④ 能随意调节手轮的力矩，满足不同操作者的使用习惯，更可以锁定手轮，方便定倍观察。
⑤ 本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1 ，物镜变倍范围0.8X-5X。
⑥ 双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm.
产品优点：
产品造型比较新颖。
机械特性优越，操作舒适度高。
光学系统鉴别力达300线对以上，符合际标准。
超长的工作距离位于内同行之。
独有的3A设计。
创见性人机学设计，产品细节考虑全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防尘,防油防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘防油防水或其它污染－－－－-这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性－－－－－－使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电－－－－－－防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用域：
教学示范，生物工程,IT产业检测，材料分析等域。
3、针座和探针夹具（可选）
针座规格 | BT-200型 | BT-100型 | BT-40-T型 | BT-40型 |
尺寸 | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 52mmW x 96mmD x 76mmH | 38mmW x 62mmD x 45mmH |
重量 | 1000 克 | 600 克 | 300克 | 200 克 |
精度 | 0.35 Micron | 0.7 Micron | 2 Micron | 10 Micron |
牙具 | 200牙/寸 | 牙具 100牙/寸 | 40牙/寸 | 40牙/寸 |
X-Y-Z线性行程 | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm |
4、JVC模拟CCD
特点
l 1/3寸CCD,44万像素
l 535电视线的水平分辨率
l 0.7Lux的低照度（F1.2，25%，AGC开启）
l 50dB的高信噪比（AGC OFF）
l 内置10bit 数字图像处理器
Winfast XP100视频采集卡
特性
l 可选择的影像来源信号
可以提供不同的输入端子，使其能够连接不同的影像
输出设备，如录放影机、***庭摄影机、雷射光碟机、
影音光碟机及CCD摄影机，提供全方位的解决方案。
l 可编辑剪接影像片段
可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉，并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或般的图形档，再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体，便可加入各种***与剪接编辑
5、电信测试系统
Triaxial线缆
台湾BEST探针夹具
管状夹具
弹簧夹具
螺旋夹具
Triaxial 转接头
6、探针
美GGB
型号 | 针尖直径 | 针杆直径 | 针长 | 材质 | 根/盒 |
软针类:适用于集成电路内部线路点针 
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T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬钨材质 | 5 |
0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上 | |
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬钨材质 | 5 |
0.7 微米针须焊接于镍质针杆上 | |
硬针类:适用于集成电路电点针 
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ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬钨材质 | 10 |
ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬钨材质 | 10 |
ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 10 |
ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 10 |
ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 10 |
7、空泵
日东工器VP0125
规格：
l 电压：AC220V
l 流量：7L/min
l 空度：-60KPa
l 质量：0.7Kg
功能
l 提供空动力源。
l 配合 CHUCK上的空吸附孔来固定样品。
l 配合空吸附型探针座，固定探针座。
特点
● 无油静音，特别适合实验室和洁净室使用。
● 7升/分钟，可24小时无间断运转。
8、防震桌
特点：隔振支撑采用超薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术，隔振性能良好。自动水平，自动充气，全部气动执行元件采用德FEST0产品，静音空气压缩机气源、噪声低。
应用范围：适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。
技术参数：
台面为三层夹心蜂窝状支撑结构，采用ICR17优质高导磁不锈钢
平台表面粗糙度0.5〜0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有频率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重复定位精度±0.10 mm
工作压力0.2~0.6(Mpa)
尺寸可根据客户需求定制
9、屏蔽箱
CINDBEST CB-6（选配）
参数和特点
● 尺寸：880mm宽x710mm长x1140mm高
● 屏蔽光线和电磁干扰。
● 匹配探针台和防震桌设计。
● 可根据客户定制。
● 与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到100fa ，可抗2000V高压。
● 屏蔽箱上配备转接头，便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。
10、品牌型号：CINDBEST HT-400-4
3.1 4英寸卡盘
3.2 直流电源低噪音
3.3 空吸附：1.中央吸附孔 2.二英寸盘面 3.四英寸盘面
3.4 PID温度控制器分辨率:1℃
3.5 温度漂移：≤0.01%FS/℃
3.6 温度误差：室温加温到300度，任何区段+-1%
3.7 40段程序编排，30段具备自动跳转功能
CL-6探针测试台的使用方法
1、 将样品载入空卡盘，开启空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
4、 显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
5、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。
6、 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。
探针座点针测试
1、 固定样品
将待测器件载入卡盘，调整好待测位置后,开启空阀门控制开关，将WAFER/芯片或其它样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2、观测待测位置
打开光源，调整光源合适的亮度，使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将待观察点移动至显微镜下，同时调节显微镜的倍率，先可放到低倍率找到待测点，使用样平台X-Y平移将待测点移动到视野正中间，再更换高倍率物镜，将影像调节清晰。
3、 点针
待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座上下左右三个旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，当视野中针尖有向移动的趋势，证明已经接触。（也可以使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触）
4、测试
确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。
CL-6探针测试台的注意事项
当您使用本仪器时，可能会碰到些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。
症状 | 可能原因 | 解决方法 |
移动样品后画面变模糊 | 显微镜不垂直 | 调垂直显微镜 |
样品台不水平 | 调水平样品台 |
样品不平 | |
显微镜视场亮度不足，边缘切割或看不到像 | 转换器不在定位位置上 | 把转换器转到定位位置上 |
管镜转盘不在定位位置上 | 把管镜转盘转到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 调节光源亮度或者把孔径光栏孔调大 |
没有装目镜 | 装上目镜 |
没有装物镜 | 装上物镜 |
显微镜像质变差 | 目镜脏 物镜脏 管镜脏 | 对目镜，物镜，管镜脏的地方进行清洁 |
孔径光栏关的太大或者太小 | 调节孔径光栏 |
没有调好焦 | 调节调焦手轮 |
样本上盖有盖玻片等介质 | 移开盖玻片等介质 |
图像边清晰，边模糊 | 样本倾斜放置 | 放平样本，或者调节样品台水平 |
物镜没有旋紧 | 旋紧物镜 |
眼睛容易疲劳 | 双目头的瞳距和操作者不匹配 | 调节双目头的瞳距 |
| 目镜视度调节不正确 | 调节目镜视度 |
| 照明亮度不合适 | 调节光源亮度或者孔径光栏孔 |
CL-6探针测试台的维护和保养
1、 电源使用
电源：220±10%，50—60Hz
2、 避免碰撞
探针台所使用的牙具为是非常精密的机械部件，在使用和运输过程中务必注意轻拿轻放，严禁磕碰，以免损坏仪器或影响机械精度。
3、环境控制
使用佳温度范围为5℃～40℃，佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。
4、 机台清洁
● 每次使用完毕后，需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免泥沙等污物将接口堵塞导致接触不良。
● 探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以湿布轻轻擦拭并吹干即可。机体表面有黏着物，可用肥皂水清洗，避免以汽油、石油精、溶剂或喷雾式杀虫剂喷之，以避免发生变色现象。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.
● 定期使用润滑油或润滑脂对活动结构进行清洁和保护。
● U型平台要定期用无水酒精清洗，使用防锈油浸泡天，然后再使用无水酒精擦拭干净。
5、不要随意拆卸
不当的拆卸可能造成仪器损坏或降低精度与性能，因此，除非是特别指定可以拆开的部位，否则不要随意拆卸机械结构。
沪公网安备31011502016460号
