温控器规格：

控温范围 ：常温到300摄氏度

控温精度 ：0.1℃

温度稳定度： +- 1%

4英寸卡盘从25 ℃开始升温时间: 100 ℃/1:00    150 ℃/ 2:30    200 ℃/ 3:00   300 ℃/4:30

尺寸： 350mm长 x 300mm宽 x 150mm高

重量：15KG



高温探针台配件

1、体式显微镜  （可选配高倍率晶相显微镜）

产品参数和特点：

①　鉴别力高，视场范围大，景深长。

②　工作距离长至115mm。

③　左右目镜屈光度可调正负5度，能满足不同视力的操作者观察。

④　 能随意调节手轮的力矩，满足不同操作者的使用习惯，更可以锁定手轮，方便定倍观察。

⑤　本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1 ，物镜变倍范围0.8X-5X。

⑥　 双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm.

产品优点：
产品造型比较新颖
机械特性优越，操作舒适度高。
光学系统鉴别力达300线对以上，符合标准
超长的工作距离位于***内同行之***
独有的3A设计
创见性人机学设计，产品细节考虑全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防尘,防油防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘防油防水或其它污染－－－－-这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性－－－－－－使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电－－－－－－防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用领域：
教学示范，生物工程,IT产业检测，材料分析等领域。

2、针座和探针夹具（可选）

3、JVC模拟CCD

特点

l 1/3寸CCD,44万像素

l 535电视线的水平分辨率

l 0.7Lux的照度（F1.2，25%，AGC开启）

l 50dB的高信噪比（AGC OFF）

l 内置10bit 数字图像处理器

Winfast XP100视频采集卡  

特性

l 可选择的影像来源信号

可以提供不同的输入端子，使其能够连接不同的影像

输出设备，如录放影机、***庭摄影机、雷射光碟机、

影音光碟机及CCD摄影机，提供全方位的解决方案。                        

l 可编辑剪接影像片段

可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉，并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或***般的图形档，再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体，便可加入各种***与剪接编辑

4、探针夹具

●  弹簧式 

使用便利，可用于较短时间的大电流（超过1安培）稳定性好，采用进口同轴线缆，精度漏电为10PA，输出BNC（male）接头

●  管状式

测量微弱电流用，同时可接高压，采用进口triax线缆，前端管装屏蔽结构，漏电小于100FA，高压可耐1000V（需要配合屏蔽箱）

5、美***GGB探针

型号	针尖直径	针杆直径	针长	材质	根/盒
软针类:适用于集成电路内部线路点针
T-4-5	0.2 微米	0.51mm	51mm	硬钨材质	5
	0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上
T-4-10	0.7 微米	0.51mm	51mm	硬钨材质	5
	0.7 微米针须焊接于镍质针杆上
硬针类:适用于集成电路电极点针
ST-20-0.5	1 微米	0.51mm	38mm	硬钨材质	10
ST-20-1.0	2 微米	0.51mm	38mm	硬钨材质	10
ST-20-2.0	5 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10
ST-20-5.0	10 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10
ST-20-10	20 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10

探针台的使用方法

1、 打开真空腔盖，将样品固定到样品台中心位置，然后盖上真空腔盖。

2、 检查真空腔体上所有真空阀门并确保都是处于关闭良好状态，启动真空泵。

3、 待真空度达到要求后，打开温度控制器，观察温度显示是否正常，如果正常进行下***步。

4、 打开液氮罐输液阀门，控制流量，让液氮缓慢流入样品台制冷腔，待温度降至基准温度后，调节温度控制器，设置目标温度，待稳定后进行下***步。

5、 将显微镜移到观察窗上方，调到倍率，调节焦距找到待测样品；逐步增大放大倍率，知道能清楚的观察待测样品的待测电极。

6、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，*后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

7、 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试

注意事项

l 在安装，操作探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。

6.2 仪器的运输

l 仪器运输时，请先拔掉电源线插头。

l 仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。

6.3 仪器的存放

l 使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。

l 探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。

l 探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。

l 停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.

l 操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。