1、探针台台体

           CL-6

•  6" 卡盘，采用中心吸附孔和3圈吸附环固定样品，分别由3个开关独立控制

•  卡盘X-Y的移动范围 6＇＇X6＇＇，移动精度：10微米 

•  卡盘可以 360 度旋转，细调精度不大于 0.1 度，带有锁定旋钮

•  Chuck 漏电低于 100fA ， 平坦度误差小于 5um 。

•  Chuck 镀金，用于做背电极,可以进行双面测试

•  卡盘台可以上下快速升降4mm，便于样品快速分离探针

•  显微镜环绕立柱旋转式设计，便于快速移动显微镜， 显微镜移动范围覆盖样品台 

•  可调节显微镜在 X-Y 平面4" x 4" 范围内移动,精度1微米（此项行程升***为4寸，系统不包含显微镜） 

 2、体视显微镜  CB-M

•  变焦： 0.8 倍 ~5 倍 ， 总放大倍率： 16 倍 ~200 倍

•  双目观察倾斜 45 度，双瞳距调节范围 52-75mm

•  显微镜在 X ， Y ， Z 轴方向的调节范围： > 50.8mm ，调节精度小于 10 微米

•  工作距离:115mm 变倍比：1:6.7

•  带 CCD 接口和 0.4X C-mount

•  *小分辨率2um

3、高压大电流探针座

GVDI-40

•  磁力开关底座

•  线性，无后座力移动

•  探头接口和线缆45度连接，无需L型转接头

•  X-Y-Z 方向的移动行程分别为 13mm

•  精度2微米

•  调节架可进行30度以内的角度调节

•  高压大电流测试适用

4、SHV高压夹具

•  漏电精度低于1pA

•  大电流10A,高压2kv（不能同时达到）

•  2.1m线缆（铜管TubulerType）接头和客户设备配

•  50Ω阻抗，测试频率直流-100Mhz

  （与浙江五强晶体管特性图示仪配套使用）

5、SHV高压大电流探针

•  电流范围0-10A

•  电压范围0-2kV

•  2kV时，电流需控制在10mA以内

•  电流10A时，电压不能超过5v

•  漏电精度100fA

6、真空泵

VP0125

•  可24小时连续工作

•  静音无油真空泵 7 升/分钟 

•  体积小巧 

（可选项）

7、屏蔽箱

•  有效屏蔽信号干扰和漏电，提升测试精度

•  防止意外触电

8、固定支座

•  880*580*700mm，阻尼抗震

•  承重 300kg左右

9、面包板

•  1200*600*50mm

•  蜂窝型板

•  孔距25mm，孔径M6

•  表面粗糙度:<2um