型号：CM-4
CM-4简易探针台 Mini Probe Station
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类型 | 规格 |
Chuck（卡盘） | 尺寸：4英寸，圆形 |
材质：不绣钢（可升***镀金） |
旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1° |
X-Y移动行程：2" x3"，移动精度：10um（可升***为1um精度） |
吸附孔：中心孔径*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，能够吸住尺寸为4"X4" |
整体规格 | T型平台，轻巧方便。 |
平整度：5um，平台特殊处理，使得探针座吸附更牢固 |
外尺寸：400mm长×380mm宽×450mm高(带显微镜) |
重量：20KG（带显微镜） |
规格：
1、固定样品方式：真空吸附
2、chuck尺寸：4英寸，圆形（方形可选）
3、chuck材质：不锈钢（可升***镀金）
4、chuck旋转：0-360°可带角度锁定，精度0.1°
5、chuck在X-Y轴上的移动行程：4" x4"，移动精度：10um（可升***为1um精度）
6、针座平台：U型平台，可放置6-8个针座
7、平台升降：可快速升降5mm
显微镜：体式三目显微镜，含CCD接口
显微镜放大倍率：16倍~100倍，可加2X辅助物镜物镜到200倍
显微镜在Z轴方向的调节范围：50.8mm
机台尺寸：400mm长 x 400mm宽 x 500mm高(带显微镜)
整机重 量：30 Kg (带显微镜)
特点：
1、4 inch样品台
2、紧凑的结构
3、轻巧的重量
4、实惠的价格
5、可以做光电方面测试
6、LED/LD/PD的光强/波长测试
7、可以进行射频测试
8、加装东/西方向针座
9、适合大学实验室通用
10、适合4“以下晶圆测试
11、无后座力移动
沪公网安备31011502016460号
