CM系列探针台

产品简介

CM系列 探针台造型小巧，测量精度高，操作方便，符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。

CM探针台能够胜任的测试有：

二、工作环境

l 探针台应放在稳定可靠的台面上，是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。

l 使用*佳温度范围为5℃～40℃，*佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。

l 使用电源：220±10%，50~60Hz

三、技术参数：

1、主要性能参数：

探针夹具安装：

● 使用配套螺丝将夹具倾仰安装固定到探针座上，可以根据需要进行上下调节位置

● 将探针座摆放在U型平台上固定好，拧松倾仰夹头4个螺丝，把夹具金属杆放入限位孔内，调整合适位置后拧紧螺丝

● 用镊子夹住探针中部，将弹簧夹具的弹簧压缩至探针固定孔露出，将探针插入固定孔，调整好位置后放松弹簧（注意：操作过程中不要触碰到针尖，否则针尖会变弯）

                

                 （倾仰夹头）                               （夹头按需要可上下调节）

      （将此滑套往后推，用镊子夹住探针推入夹针孔内）         （将锁紧螺母拧松，将夹具杆推入合适的位置）

配件

1、体式显微镜  （可选配高倍率晶相显微镜）

产品参数和特点：

①　鉴别力高，视场范围大，景深长。

②　工作距离长至115mm。

③　左右目镜屈光度可调正负5度，能满足不同视力的操作者观察。

④　 能随意调节手轮的力矩，满足不同操作者的使用习惯，更可以锁定手轮，方便定倍观察。

⑤　本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1 ，物镜变倍范围0.8X-5X。

⑥　 双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm.

产品优点：

产品造型比较新颖。

机械特性优越，操作舒适度高。

光学系统鉴别力达300线对以上，符合标准。

超长的工作距离位于***内同行之***。

独有的3A设计。

创见性人机学设计，产品细节考虑全面。

3A特性：
密封性－－－－－－-防尘,防油防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘防油防水或其它污染－－－－-这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性－－－－－－使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电－－－－－－防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用领域：
教学示范，生物工程,IT产业检测，材料分析等领域。

2、针座和探针夹具（可选）

3、JVC模拟CCD

特点

l 1/3寸CCD,44万像素

l 535电视线的水平分辨率

l 0.7Lux的照度（F1.2，25%，AGC开启）

l 50dB的高信噪比（AGC OFF）

l 内置10bit 数字图像处理器

Winfast XP100视频采集卡  

特性

l 可选择的影像来源信号

可以提供不同的输入端子，使其能够连接不同的影像

输出设备，如录放影机、***庭摄影机、雷射光碟机、

影音光碟机及CCD摄影机，提供全方位的解决方案。                        

l 可编辑剪接影像片段

可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉，并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或***般的图形档，再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体，便可加入各种***与剪接编辑

4、探针夹具

●  弹簧式 

使用便利，可用于较短时间的大电流（超过1安培）稳定性好，采用进口同轴线缆，精度漏电为10PA，输出BNC（male）接头

●  管状式

测量微弱电流用，同时可接高压，采用进口triax线缆，前端管装屏蔽结构，漏电小于100FA，高压可耐1000V（需要配合屏蔽箱）

5、探针

美***GGB

型号	针尖直径	针杆直径	针长	材质	根/盒
软针类:适用于集成电路内部线路点针
T-4-5	0.2 微米	0.51mm	51mm	硬钨材质	5
	0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上
T-4-10	0.7 微米	0.51mm	51mm	硬钨材质	5
	0.7 微米针须焊接于镍质针杆上
硬针类:适用于集成电路电极点针
ST-20-0.5	1 微米	0.51mm	38mm	硬钨材质	10
ST-20-1.0	2 微米	0.51mm	38mm	硬钨材质	10
ST-20-2.0	5 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10
ST-20-5.0	10 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10
ST-20-10	20 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10

6、真空泵

日东工器VP0125

规格：

l 电压：AC220V

l 流量：7L/min            

l 真空度：-60KPa

l 质量：0.7Kg

功能

l 提供真空动力源。

l 配合 CHUCK上的真空吸附孔来固定样品。

l 配合真空吸附型探针座，固定探针座。

特点

● 无油静音，特别适合实验室和洁净室使用。

● 7升/分钟，可24小时无间断运转。

7、防震桌      

特点：隔振支撑采用超薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术，隔振性能良好。自动水平，自动充气，全部气动执行元件采用德***FEST0产品，静音空气压缩机气源、噪声低。

应用范围：适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。

技术参数：

台面为三层夹心蜂窝状支撑结构，采用ICR17优质高导磁不锈钢

平台表面粗糙度0.5〜0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有频率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重复定位精度±0.10 mm

工作压力0.2~0.6(Mpa)

具体尺寸可根据客户需求定制

8、屏蔽箱   

CINDBEST CB-6

 参数和特点

l 尺寸：880mm宽x710mm长x1140mm高

l 屏蔽光线和电磁干扰。

l 匹配探针台和防震桌设计。

l 与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到100fa ，可抗2000V高压。

l 屏蔽箱上配备转接头，便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。

l 上掀式结构，节约空间，操作便捷。

l 可根据客户需求定制。

探针台的使用方法

1、 将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

2、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

3、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。

4、 显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

5、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，*后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

6、 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。

常见问题

 当您使用本仪器时，可能会碰到***些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。

注意事项

1、避免碰撞

l 在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。

2、仪器的运输

l 仪器运输时，请先拔掉电源线插头。

l 仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。

3、仪器的存放

l 使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。

l 探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。

l 探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。

l 停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.

l 操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。