hot chuck 样品加热台 |
| 特点 | 类型 | 规格 |
*低噪声，直流电驱动
*隔离套装实现PA***电信测试精度
*隔绝水循环保护chuck底座
*可以在绝大多数探针台上加装
*易于装卸
| chuck（卡盘） | 尺寸：4, 6, 8,英寸直径，1英寸厚度 |
| Chuck 平整度：+ -10 微米 |
| 材质：不锈钢（可升***镀金/镀镍） 真空吸附固定 |
| 温度控制系统 | 控温范围：常温到300摄氏度 |
| 控温精度：0.1℃ |
| 温度稳定度：+- 1% |
从25 ℃开始升温时间/秒： 100 ℃/1:00 150 ℃/2:30 200 ℃/3:00 300 ℃/4:30 |
| 高温配件，可以升温至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ |
| 低温配件，可以冷却至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温至-196 ℃ |
| 控制器 | 尺寸：350mm长 x 300mm宽 x 150mm高 |
| 重量：20 Kg |
| 附件：用于其他品牌探针台的安装转接口 更高温度控制精度 更高温度均匀性 水冷箱 更低电流测试用的屏蔽装置 测试屏蔽腔体 |
沪公网安备31011502016460号
