美国SCI Filmtek 1000薄膜测厚仪
价 格:询价
产 地:美国更新时间:2020-10-23 11:13
品 牌:SCI型 号:Filmtek 1000
状 态:正常点击量:1685
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测量功能
FilmTek 1000/1500将SCI的广义材料模型与先进的全局优化算法结合在***起,以便同时测定下列薄膜常数:
多层膜厚
折射系数 [ n(λ) ]
消光 [ k(λ) ]
低成本
FilmTek 1000/1500的价格是同类仪器相比更具竞争力
软件
FilmTek 1000的测量分析软件,无须薄膜光学设计或测量技术方面的经验。
产品参数
测量参数 | FilmTek? 1000 / 1500 |
Index of Refraction(at 2μm thickness) 折射率(2μm厚度时) | ±0.005 |
Thickness Measurement Range 膜厚范围 | 10nm-200μm |
Spectral Range (nm) 光谱范围 | 380-1000 |
Reflection 反射 | Yes |
Transmission 透射 | Yes (1500) |
Power Spectral Density | Yes |
Multi-layer thickness | Yes |
Index of Refraction | Yes |
Extinction (absorption) Coefficient | Yes |
选购可在标准型的基础上拓展 |
产品介绍
美***SCI Filmtek 1000薄膜测厚仪
FilmTek 1000系列是***种精确和负担得起的解决方案,用于薄膜厚度和折射率的常规测量。它将光纤分光光谱仪与直观、高性能的材料建模软件相结合,使日常测量任务更加可靠、简单。
FilmTek 1000的配置包括***个小的光斑,配备手动或可选的自动XY平台,以适应75-300毫米晶圆尺寸。FilmTek 1500可以测量透射和反射方式测量,是透明衬底的理想之选。
FilmTek软件包括完全用户定制的映射功能,可以快速生成任何测量参数的2D和3D数据映射。除了用户定义的模式外,标准模式还包括极模式、x-y模式、rθ模式或线性模式。