Aera FC-780CHT高温金属密封蒸汽质量流量控制器

Aera® FC-780CHT MFCs withstand high temperatures and prevent condensation in applications that require the heating of a liquid source to generate sufficient vapor pressure for MFC flow control. 

Configured with the printed circuit board in a separate module that is not subjected to elevated heat, FC-780CHT MFCs are able to withstand the effects of bake-out at high temperatures.

Aera FC-780CHT系列质量流量控制器能经受高温，在液体加热产生大量蒸汽的环境质量流量控制时可以防止冷凝收缩。

隔离的模块线路设计使得控制器不受高温影响，FC-780CHT能够有效抵抗烘烤环境时的高温影响。

流量范围：10sccm-5slm

Benefits:

High reliability

Long-term zero drift stability

优点：

高可靠性

长期零点漂移的稳定性

Features:

Rugged, high-temperature design

Metal seals

Solenoid control valves

80°C(176°F) max temp for MFC base

50°C(122°F) max temp for remote electronic controller

特点：

牢固，高温设计

金属密封

电磁控制阀

本体***高支持温度80°C(176°F)

远程控制器***高支持温度50°C(122°F)