优势

改善了气体输送性能和生产产量

便于在设备上整合

大幅节约了气体面板成本

减小了气体面板尺寸

提高了安全性

实时通信和控制

世界***的服务和支持

延长了系统正常运行时

特点

稳压运行

精确性和可重复性高

整合式气体面板组件

现场气体检验，多气体、多范围配置

现场可编程

DeviceNet® 控制

板上显示

整合式诊断

全金属密封

超纯设计

其流量范围范围分不同的等级，分别有2sccm至4sccm、5sccm至9sccm、10sccm至30sccm、31sccm至100sccm、101sccm至300sccm、301sccm至1000sccm、1001sccm至3000sccm、3001sccm至10000sccm、10001sccm至30000sccm、30001sccm至50000sccm.

精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作压力:100 psiA(690 kPaA)

集热温感式 MFC

Aera PI-980系列稳压型质量流量控制器

凭借业界***的流量控制技术，Aera® PI-980® 系列非压敏型 MFC（质流控制器）可预测新***代半导体制造制程不断增长的需求，这些制程包括蚀刻、化学汽相沉积、物理汽相沉积和扩散。与先前的技术或竞争对手产品相比，这***创新的技术平台提供了更迅速的响应、更高的气体流量稳定性、更高的精确度以及***流的实时制程控制。较高的流量稳定性提供了更好的腔室到腔室制程可重复性，从而提高了生产产量。
PI-980 MFC 的新***代设计将传统的热流量架构与***个压力传感器、温度传感器以及 NeuralStep® 控制技术进行了整合，从而创造了***个单***而精簡的输送包，省去了以往***直需要使用的众多昂贵的气体面板组件。多气体、多范围功能大幅降低了支持性物品的要求，从而进***步提高了成本效率。除了整合式诊断，新***代 MFC 技术还被整合进了我们得到现场验证的 D980 系列产品平台，以延长系统正常运行时间，并使故障的发现和修理变得快速而简易。