Aera FC-P2000质量流量控制器
价 格:询价
产 地:更新时间:2020-11-03 10:39
品 牌:Advanced Energy型 号:Aera FC-P2000
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Aera FC-P2000 系列 质量流量控制器
集压压感式 MFC
FC-P2000 集压式 MFC 能够在广泛的输入压力范围内,准确控制较低的气体流量。这使其在安全供给系统 (SDS) 应用中非常有效。在这类应用中,气体来源压力会随着气体的消耗而缓慢下降。
FC-P2000 MFC 能够控制2-4 sccm(N2 当量)、低至5 Torr 气缸压力的气体流量,从而能提供高达95%的气缸气体使用率。
优势:
精确度高
具有成本效益
易于替换现有的 SDS MFC
减少堵塞
特点:
因素喷嘴技术
产品介绍
FC-P2000 集压式 MFC 能够在广泛的输入压力范围内,准确控制较低的气体流量。这使其在安全供给系统 (SDS) 应用中非常有效。在这类应用中,气体来源压力会随着气体的消耗而缓慢下降。
FC-P2000 MFC 能够控制2-4 sccm(N2 当量)、低至5 Torr 气缸压力的气体流量,从而能提供高达95%的气缸气体使用率。