分辨率

1.0nm@25kV,<2.0nm@1kV,WD2mm(Through-lens detector)               

加速电压

0.1kV – 30kV连续调节,步长100V                                          

放大倍数

<10倍>900,000倍，工作距离和高压变化时进行完全地补偿                                                 

电子束流

***高可达100nA                                                                

光栏选择

6孔光栏，高精度点击选择                                       

探测器

样品室内二次电子探头

Through -Lens探头

样品室内BSE探头

E-T探头仅用于样品室高真空操作,几何位置可调整                             

DELPHI Through –Lens上位SE/BSE探头                                      

罗宾逊/4分割固体背散射电子探头                                         

真空系统

TMP(涡轮分子泵)+2个离子泵，高压和所有电子枪供给全部               

与真空互锁                                                          

样品室尺寸

413mm宽x313mm深x313mm高.                                     

样品台移动

优中心6轴样品台.                                                        

X=100mm，Y=100mm，（Y=150mm，选配），Z=50mm， Z’=10mm              

Tilt=-5～+90°， Rot=360°                                              

样品台载重

承载样品的重量超过5公斤                                                 

样品室接口

14个                                                                   

防震系统

自动水平传感器的气垫装置                                                  

自动特性

自动聚焦,消像散,亮度和对比度调整. 自动电子束对中.自动           

电子束流检测.真空检测与调整                                                           

显示器

双显示器，能形成双幅横向工作区                                     

视频获取

图像处理

6路优化像素噪音功能实现双路获取                                  

样品检查模式带有转换/扫描图像定位中心特性                               

全屏注释和图像测量功能                                                      

触停报警装置

标配                                                             

可配附件

EDS,   WDS,   EBSD,   CL， STEM，电子束消隐装置，激光定位仪，电子枪隔离阀， Fastrac，

光学显微镜，冷台，热台，拉伸台