分辨率

主模式

衬度模式

晶格（可保证）：

0.34 nm

-

晶格（可分辨）：

0.20 nm

-

点分辨率：

0.4 nm

0.5 nm

加速电压

25 - 100 kV可调，步长为0.05、1到5 kV

全数字控制，最佳的安全性和重复性

照明系统

两个迷你会聚透镜（采用水冷式特殊设计，尺寸小巧），在亮场和暗场照明之间切换，具有亮度连续可调的设置保存功能，

物镜

对称式迷你透镜，两种工作模式：主模式和衬度模式

聚焦

聚焦：数字控制，放大倍数取决于调焦步长，细、中、粗三档可选

焦距： 主模式  - 2.8 mm，

衬度模式         - 3.8 mm。

物镜区域有防污染装置

样品台

手动样品台，X/Y = 2 mm；

样品移动的粗调和细调控制；样品位置的数字显示，采用备忘（memo）功能，

放大倍数

主模式：

低放大倍数：

50x - 1,000x.

高放大倍数：

1,500x - 600,000x.

衬度模式：

低放大倍数：

50x - 1,000x.

高放大倍数：

1,100x - 430,000x.

相机长度

200 - 2000 mm（主模式）

260 -2600 mm（衬度模式）

投影系统

四个迷你投影透镜；在较大的放大倍数范围内可以实现无旋转成像；影像移动微调功能

真空系统

真空系统采用扩散泵，带吸附阱（集成于泵的主回路）。
镜筒真空度（液氮）：< 2x10-6 mbar

仪器控制

基于Windows® XP的图形用户界面，硬件操作板可实现多数常用功能，硬盘存储，包括全部数据记录及个性化用户参数

图像记录

页式胶片和SSCCD照相机