特点

◆ 台式设计，结构紧凑。采用防振底盘，有效防止振动引起的画质问题

◆  操作方便，简单易学，具有任何人都可以简便使用的自动调节功能

◆ 性能价格比高

◆ 对环境、电源要求低

◆ 景深大，立体结构观察。图象质量高，能获得高分辨率和高衬度的图像

◆ 抽真空速度快，开机及换样抽真空都可在三分钟完成。

◆ 可整体移动仪器，方便使用

◆ 应用领域范围宽

技术指标

1．放大倍数范围大（15X～ 30000X Digital Zoom:2x,4x，数字变焦120,000X）

2．分辩率：15nm,10nm

3．加速电压： 1kv – 30kv

4．探测器： SEI（二次电子探测器），BEI（背散射电子探测器）/EDS(能谱仪)

5．图像大小： 4096×4096

6．图像格式： JPG，TIFF，BMP，PNG

7．数据显示： Micron Bar, Magnificaiton, Date, Kv

8．电压： 110v或220v

9．可选性强，可选配能谱仪EDS/波谱仪WDS

10．具有二次电子探测器(与通常大电镜使用的探测器同，图像质量好)，背散射电子探测器可选

11．NanoAnalysis软件可选模块，功能强大：

u 图像获取模块

图像处理

图像分析

图像操作

图像过滤

粒子计数&筛分

热成像

图像测量/标注

易于生成报告

自动保存

u 元素分布图

标准元素分布图

超快绘图

线扫描

点模式&多点

自动分析（每个像素的图谱）

ColorSEM-快速成像

重点成像

热成像

容易生成报告

自动保存

u 高级特征

  化学鉴定

  痕量灵敏度分析

  关键测量

  3D成像

  3D测量

  自动分析（每个像素的谱图）

  远程会议

  立体成像

  同步分析

  VideoSEM-视频制作

NanoAnalysis系统由Evex Mini-SEM，Mini-SEM，QDD先进的探测器技术和NanoAnalysis软件组成。

    Mini-SEM是具有高清度，高放大率，高性能的台式扫描电子显微镜。

    Mini-SEM结合了传统SEM的性能，但在大小，price和易操作方面超越了台式显微镜。

运用能量分散光谱（EDS/EDX）技术时，添加QDD，无液氮高速X射线探测器和X射线NanoAnalysis软件（光谱采集模式，高***图像采集模式和高***元素绘图模式）到其中，可在几秒内分析样品的元素成分和描绘元素相关位置。激活任***高***绘图功能来确定元素的空间位置，通过使用任何以下绘图模式来完成：点式，多点式，线扫描，区域绘图，变焦绘图，索引绘图和痕量感光分析（T.S.A）的索引绘图。Evex NanoAnalysis系统的高***绘图功能包括索引绘图（用于图像的每个像素的***段光谱）和T.S.A（痕量感光分析），后者能测定整个样品中极微量的物质浓度。

索引绘图的***大优势是它能保存整个实验，因此你可以在任何工作地点的任何时候检索原始数据。

该系统设计成实用，易操作且购买得起的。几秒钟内从10X到30000X （120000X数字变焦）变焦。自动聚焦，亮度和对比度自动调整让每张图片都很完美。