电镜能谱***体化设计,简洁小巧
Phenom ProX 的能谱仪EDS是针对台式电镜设计的,本着台式电镜简单易用,售后无忧的宗旨,Phenom ProX的能谱仪EDS 系统完全嵌入在电镜主机中,利用半导体制冷,无需额外冷却系统。下图是传统电镜能谱仪系统与Phenom ProX的对比图
电镜分辨率显著提高
瞬间得到样品表面形貌和元素含量
第***步:利用成像模式得到高分辨率的照片,
背散射电子给出丰富的成份像,杂质***目了然
第二步:如果需要分析元素含量,瞬间切换到成份分析模式,点击感兴趣的区域,立刻给出定量定性分析元素名称和含量分布
5kV,10kV,15kV 三档加速电压
Phenom ProX提供三档加速电压,用户可根据样品类型和测试目的,灵活切换
5kV :血液 绝缘体直接观测模式
适合对电子束敏感的样品
10kV:电路板 ***佳分辨率模式
适合绝大部分样品
15kV:电路板 元素分析模式
X射线特征谱线更明显
表面形貌和成分信息同时展现
背散射电子的产率、出射角度与样品成份及表面形貌相关。Phenom(飞纳)采用4分割半导体背散射电子探测器,为您提供两种成像模式,模式之间可迅速切换:
• 成份模式:同时给出样品表面形貌与成份信息,不同元素可由其灰度对比度的不同加以分辨
• 形貌模式:去除成份信息,样品表面凹凸起伏等微观结构更加明晰,适用于表面粗糙度和缺陷分析成份模式
4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加
形貌模式
4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消
成份模式图像包含样品成份与形貌信息
形貌模式图像仅突出样品表面形貌特征
专利样品杯,30秒快速成像
Phenom(飞纳)专利样品杯、低真空设计、专利的真空封锁技术,装入样品后30秒内即可得到高质量图像,耗时仅为传统电镜的1/10左右。
直接观看绝缘体,无需喷金
Phenom(飞纳)采用低真空技术,出射电子与空气分子碰撞产生正离子,正离子与样品表面累积的电子中和,有效抑制荷电效应的产生,直接观测各种不导电样品(如下图所示)。
利用降低荷电效应样品杯,更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右,而且不会影响灯丝寿命,下图头发示例:
操作简便,全程导航
• 自动/手动聚焦
Phenom(飞纳)操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。界面右侧显示光学导航和低倍SEM导航窗口,方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。
• 自动/手动亮度
• 自动/手动对比度
• 自动灯丝居中调节
• 自动马达样品台
• 光学/电子样品导航
光学导航,所有待观测样品尽在视野之中,高倍下准确切换样品,只需点击感兴趣样品,即可自动移动到屏幕中央
低倍SEM照片导航,导航窗口中的彩色矩形框指示了住观测窗口的观测区域,点击感兴趣的区域,自动移动到样品中央。
长寿命/高亮度/低色差 CeB6 灯丝
Phenom(飞纳)采用逸出功为2.5eV的CeB6灯丝,其亮度为钨灯丝的10倍,出射电子色差小,为您提供更高质量的图像,其使用寿命长达1500小时,为钨灯丝的10倍,可正常使用1-3年无需更换灯丝,免去了您频繁更换灯丝的麻烦,保证工作进度。
环境适应性高,完全防震
Phenom(飞纳)可以放置在几乎所有的室内环境当中,无需超净间。采用灯丝、探测器、样品台相对***体化的设计,震动不会引起三者间的相对运动,使Phenom成像不受震动影响,可放置在较高楼层。
互联网远程检测
Phenom(飞纳)拥有远程检测功能,通过网络,专业工程师可随时为您远程检测系统、答疑解难,为您提供全方位的保护,让您的Phenom随时处于***佳工作状态。
丰富的拓展功能选件
适用于不同领域的样品杯选件