芬兰FocalSpec的在线粗糙度缺陷扫描仪又叫线共焦扫描仪，主要是利用光谱仪将发光二极管发出的光分散成不同波长不同高度的光，这些光聚焦在同一聚焦面并照射到样品表面，通过分光仪分析样品表面所反射的光。根据反射光波长变化，判断样品表面信息。