美国MKS Instruments Inc.
MKS Instruments, Inc. 在气体、真空仪器应用方面一直居于全球之技术领先的地位。 相关的产品应用于尖端之材料科学或制程技术的改善,从精密的半导体工业,光电产业到工业用工具的表面涂装, 食品及制药工业等范围,这些制程都牵涉到在控制的环境内使分子气相及固相发生适当的反应,以便在材料上形成不同的材质或薄膜。
藉由 MKS 的各种相关产品以管理, 监测及控制气体,压力等条件, 提供制程所须的环境,同时 MKS 也提供各种制程产生器 , 例如: 电浆产生器, 微波产生器, 臭氧产生器, 射频供应器 等相关元件供应制程所环境, 以达到制程控制。
MKS 拥有完整的技术及产品资源,不管是产品的研发设计、客户的支持服务,都能快速提供依客户特殊须求的产品服务来配合。
MKS 是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一, 其产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。 MKS 前瞻性的创新开发, 推动其产品一直处于全球技术领先地位。 MKS 的电源, 测量, 控制和复杂气体相关的工艺监控技术, 改善了设备完好率和产品成品率, 提高了生产产量和产品性能。 MKS 产品起源于我们的压力测量和控制核心技术, 延伸到材料递送, 气体和薄膜成分分析, 静电荷控制, 工艺控制, 信息管理, 电源和反应气体发生器及真空技术。
MKS成立于 1961 年, 总部位于美国东部波士顿以北的 Wilmington。 近三千名员工工作在全球各地十三个分公司, 七个研究中心, 十个生产基地 (其中中国深圳的 ENI电源工厂拥有近 500员工) 及 140 多个销售办事处和 30 多个技术服务中心。 公司在纳斯达克上市, 股票代码: MKSI。
MKS 拥有完整的技术及产品资源, 无论是产品的研发设计, 生产管理还是客户支持服务, 都能快速满足客户的各种特殊需求。 MKS主要提供有: 气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。
万机仪器(上海)有限公司是美国万机仪器有限公司 (MKS Instruments, Inc.) 在中国的全资子公司。位于上海金桥出口加工区的销售和技术服务中心,为迅速发展的中国半导体、太阳能电池、LED和真空工业提供一流的产品和技术服务。公司在上海外高桥保税区还设有保税仓库。