椭偏仪特点介绍

椭偏仪 是***种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。它是利用偏振光在薄膜上下表面的反射，通过菲涅耳公式得到光学参数和偏振态之间的关系来确定光学薄膜折射率和厚度。在现代科学技术中，薄膜有着广泛的应用。也正是如此椭偏仪的应用也很广泛，那么接下来我们就是来说说椭偏仪都有哪些特点。

椭偏仪测量的可测量的对象广泛，可以测量透明膜，无膜固体样品，多层膜，吸收膜和各种性能不同、厚度不同、吸收程度不同的薄膜，甚至是强吸收的薄膜。

椭偏仪测量细致被测量的薄膜大小尺寸可以很小，只要1mm即可测量，小于光斑的大小。

椭偏仪测量方式灵活，既可以测量反射膜，也可以测量透射膜。

椭偏仪测量的速度很快。

测量误差小，在各种粒子束分析测试技术中，光束引起的表面损伤以及导致的表面结构改变是Z小的。

在椭偏光谱中，被测对象的结构信息(电子的、几何的)是蕴含在反射(或透射)出来的偏振光束中，通过光束本身与物质相互作用前后产生的偏振状态(振幅、相位)的改变反映出来。

椭偏仪测量精度高。椭偏光谱的工作原理虽然建立在经典电磁波理论上，但实际上它有原子层***的灵敏度。对薄膜的测量准确度可以达到1nm，相当于单原子层的厚度。

对样品的要求不严苛。样品可以是块体材料与薄膜，由于它可测得物质在***个波长范围内介电函数的实部和虚部，信息量较多，可对固体样品作精细分析。

椭偏仪能同时分别测量出几个物理量。椭偏光谱可直接得到光学常数的实部和虚部，不需要K-K关系。

上述文章内容就和大***介绍了椭偏仪的特点，希望能够使大***更好的了解椭偏仪。