飞纳电镜为什么可以做到15s抽真空，30s成像？
- 2024-12-13 09:37:18
如之前【：从飞利浦到赛默飞，是***“老”的电镜，也是***“新”的电镜（上篇）】的介绍，继承荷兰飞利浦和 FEI 独***三仓分离和逐***抽真空专利设计，可以实现 15 秒抽真空 30 秒成像，这是目前业界***高效率的台式扫描电镜，可谓是扫描电镜中的“闪电侠”。
不同类型扫描电镜操作所用时长对比图
通过不同电镜操作用时对比图可知，***方面是抽真空耗时，传统电镜因为通仓的设计，载样抽真空过程需要很长时间，至少 3 分钟的样子。随着设备真正服役，真空系统复杂加之维护不到位，这个等待时间只会越来越久。另***方面 SEM 成像耗时，传统电镜操作界面复杂不说，自动化智能功能严重不足，很依赖于操作人员的熟练程度，***个小时往往能拍好 3 个样品都算快的。
就传统电镜抽真空耗时久这***痛点，是如何实现抽真空和成像如此之快呢？
PART1. 三仓分离真空设计 从***开始就抛弃传统的通仓设计，别出心裁把灯丝仓，光路仓和样品仓“隔离”设计，灯丝仓和光路仓通过压差光阑隔离，光路仓和样品仓通过“真空锁”设计隔离，涡轮分子泵分别对三仓室梯度抽真空，这样切换样品只破坏样品仓真空，整个换样过程几乎不会引起灯丝仓的真空变化，从而保证灯丝仓真空环境***直稳定在 10-5Pa，这也是保证晶体灯丝长寿命的前提条件。
PART2. 样品仓设计 传统电镜样品仓大开门或者抽屉式设计，不但会造成抽真空缓慢，而且样品仓内各种探测器都暴露在空气中，样品高度要调整，这些都需要警惕否则都会带来巨大损失。而真空锁不单锁住光路仓，还包括各种探测器，进样之前样品高度做了限高防呆设计，不存在任何误操作得风险，大***可以安心使用。
PART3. 自动进样专利设计 继承荷兰飞利浦和 FEI 独***进样逐***抽真空专利设计，***键转移到 SEM，边进样边抽真空。在样品仓到达预定真空度前，光路仓可实现真空保持，而后自动加高压，自动调焦和自动调节亮度对比度（B/C）成像，整个过程***气呵诚，无需人工干预，从进样到清晰成像，1min 之内就可以自动完成。
独特的真空系统设计、操作系统和硬件整合都是目前主流市场上做得***优的，正是由于诸多匠心设计，才成为目前市面上***高效的扫描电镜，也收获了各种奖项！
注：文章来源于网络，如有侵权，请联系删除
