油扩散泵是什么?使用时需要注意什么?

油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的***些真空系统中。

油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成。当油扩散泵用前***泵预抽到低于1帕真空时，油锅开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。气体分子因此获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。

泵油的蒸气压会直接影响泵的真空性能，但油扩散泵所使用的任何泵油，都是蒸气压不同的多组分的混合物。因此，要提高油扩散泵的抽气和真空性能，泵在工作中自身还要对泵油进行分馏和净化。

分馏的目的是使高蒸气压组分的油不进入高真空工作喷嘴；净化的目的是使高蒸气压组分的油在工作过程中不断为前***泵所抽除，使油逐渐趋于纯净。

调试好的新泵可直接接入真空系统工作。旧泵或长期放置的新泵，在接入真空系统前，应对泵中零件进行清洁处理，并换油。

同时还应注意除去泵芯表面和泵壁上的杂质和各种油污；用丙酮、四氯化碳或干净汽油擦洗各零体和泵内壁表面，玻璃油扩散泵用重铬酸钾洗液清洗，保持周围环境清洁，无灰尘，然后用热风吹干；按顺序将泵芯装入泵体内，调整好各***喷嘴间隙，然后按规定数量加足泵油，可根据经验测量油层深度，***般约1～2cm深即可；检查加热电炉的电炉丝是否烧断、短路，电炉的绝缘性能、保温性能是否良好；检查水冷管(或水冷套)是否漏水、堵塞，要求水路畅通，水量充足；将泵接入真空系统，并对系统进行检漏，要求系统漏气率在允许范围内。