AES俄歇电子能谱专辑之仪器设备篇

PHI 710作为纳米尺度的表面分析技术，提供了***高稳定性的 AES 成像平台。该系统集成了隔声罩、低噪声电子系统、稳定的样品台和可靠的成像匹配软件，可实现AES对纳米***形貌特征的采谱和成像。此外，PHI 710具有强大的可扩展性，用户可根据研究需求，灵活配置冷脆断样品台、能量色散X射线能谱(EDS)、聚焦离子束(FIB)、电子背散射衍射(EBSD)和背散射电子(BSE)探测器等功能模块。这些关键配置协同工作，共同赋予了PHI 710扫描俄歇纳米探针系统无与伦比的分析能力与灵活性，使其成为材料科学、半导体工业等领域不可或缺的高端分析设备。