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参考文献：
【美】Peter Van Zant ，韩郑生译，芯片制造-半导体工艺制程实用教程（第六版），电子工业出版社；【日】佐藤淳***，王艺文，王姝娅译，图解入门半导体制造工艺基础精讲（第四版），机械工业出版社；；3.余盛，芯片战争，华中科技大学出版社；
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