半导体 | 光学缺陷检测

半导体中缺陷检测是半导体制造过程中不可或缺的环节，对于提高产品良率、降低成本、提高生产效率、保障安全性和促进技术进步都具有重要意义。

? 光学无图形缺陷检测，包括颗粒物（particle）、残留物（residue）、刮伤（scratch）等；

? 电子束缺陷检测；

缺陷检测产品

晶诺微缺陷检测设备 PULSAR 系列包括 L 系列和 H 系列，PULSAR L 系列及 PULSAR H 系列是应用于电子、半导体工业领域的如 WLP（晶圆***封装）、PLP（面板***封装）、晶圆制造前端工艺等，可实现从低分辨率到高分辨率的缺陷检测、分

1）产品特点

● 测量速度快，产能可以到 6pcs/hr（6inch，0.2um● 设备稳定性和可靠性高;

复查;

● 亚像素的分辨率（1/10 像素）;

2）产品规格

● 高速 TDI 线阵扫描；● ● 高分辨率：分辨率低至 0.5um ；

4）运动系统

● 高精度，XY 重复性 ±0.5um

● 高性能

(文章来源于仪器网)

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