概述
PEPS?II改进并以TMC的专利PEPS?（精密电子定位系统）为基础。 通过添加新的数字控制器，PEPS?II更易于使用，提供更多功能，并具有改进的用户界面。 PEPS?II是***种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。 这种系统通常包括机械高度阀和机械高度传感连杆。 其应用范围从半导体制造设备到改善建立时间和提高产量，再到需要***佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。
美***专利号5,832,806
特点
? 数字控制，用户友好的LCD界面
? Z轴位置重复性精度：10um
? 用于TMC 气浮隔振系统的数字式非接触高度控制系统，如Gimbal Piston?、CSP?和MaxDamp?隔振系统的非接触式电动气动高度控制，包含控气阀和机械高度传感装置。
? 通过消除传统机械高度控制系统的杠杆接触点改善隔振效果
? 可以调整以快速稳定由X-Y平台引起的运动
? 可选的“VX”功能集成了惯性传感器，用于主动阻尼垂直隔振器共振
? 隔震更敏感，可以显著减少基于空气隔离器的系统的自然共振峰，控制器安装时进行设置，不需要后续设置
系统
? 四个内部伺服阀的数字控制器
? 三个涡流接近传感器
? 传感器外部连接到数字控制器,并用于测量有效载荷的高度，俯仰和滚动
? 可以使用电脑USB连接控制器接口进行电脑设置控制及采集数据
规格参数：
物理尺寸 | PEPS? II控制器 1.72英寸（43.7mm）高 x 8.0英寸（203mm）宽 x 9.4英寸（240 mm）深 |
重量 | PEPS? II控制器：约3.0磅（1.2千克） |
环境
（参见EN 61010-1：1993,
EN 61010-1/A2: 1995） | ***室内使用，***高2,000米海拔（6560英尺）
***大允许温度范围：5°C至35°C
***大允许湿度：31°C以下时为80％，40°C时线性降至50％相对湿度
主电源电压容差：85 VAC - 240 VAC
过电压类别：2
污染等***（IEC 664）：2
通风要求：两侧间隙25毫米，上下间隙0毫米 |
电源要求 | 电源输入电压范围：90-230 VAC
输入频率范围：50-60 Hz |
PEPS? II用户界面（前面板） | 电源开关
4个菜单按钮
LCD显示20 x 2个字符
2个诊断插座（BNC型）
三色状态指示灯
USB 端口 |
PEPS? II 界面（后面板） | 带EMI滤波器的交流电源输入
1个空气输入卡入式端口，用于1/4英寸外径管道
1个空气输出（排气）卡入式端口，用于1/4英寸外径管道
4个空气卡入式端口，用于1/4英寸外径管道（每个隔振器***个）
DB-25公头输入端-输出端和前馈插座
1个Phoenix 0.2英寸间距6引脚绿色接头（垂直接近传感器）
1个Phoenix 3.5毫米间距6引脚黑色接头（水平接近传感器）
接地螺纹螺柱（＃10-32螺纹）
DB-25 F插座：1个数字输入端，3个地震检波器传感器接口（“-VX”选件）
DB-25 F插座：1个数字输入端，3个电流输出接近传感器（可选） |
PEPS? II性能规格 | 模拟输入（单极）：8 x 12位（16位使用过采样），0 ... 3.0 V满量程
模拟输入（前馈）：5 x 12位
（16位使用过采样），±9 V满量程
模拟输入（单极）保护：+5伏，-0.5 V限幅
模拟输入（前馈）保护：±15伏限幅
模拟输出：4 x 12位（16位使用采样），0 ... 3.0 V满量程
模拟输出（可选）：8 x 16位，0 ... 3.0 V满量程
模拟输出保护：无限短路保护，+5伏限幅
数字输入电压额定值：0 ... +3.3 V，+5 V容差（+5伏限幅）
数字输出额定值：0 ... + 3.3 V，***大20 mA
数字I/O保护：+5伏，-0.5伏限幅
外部可用电源：+5 VDC，***大2.0 A；+15 VDC，***大1.0 A（***大20瓦）
通讯端口：USB，在PC上显示为RS-232
处理器：ARM7TDMI / 41.78 MHz
控制回路率：100 Hz - 2.0 KHz
接近传感器：3个垂直、（3个水平可选）涡流，NAMUR 0-20 mA输出
速度传感器 - 地震检波器（“-VX”选件）：3个垂直，电流输出 |
气动规格 | 长期高度稳定性：±50微米
长期倾斜稳定性：±50微弧度
伺服阀：4 x 双向可变节流孔比例伺服阀
阀门技术：纯甲类
***大输入压力：120 PSI或8.3巴或830 KPa
标称耗气量：60标准升/分钟（2标准立方英尺/分钟）
空气要求：洁净、干燥的空气，过滤至20微米或以上
故障安全：隔振器在电源故障或断电时会放气
气动接头：“***触式”快速接头，适用于1/4英寸外径软管 |
(文章来源于仪器网)
（来源： ）
