干货分享|搭建一个半导体实验室需要什么设备?
- 2023-12-22 10:10:42
半导体测试包括前期的研发,后期的生产的测试。 前期研发,进行材料测试,晶圆测试,后期的器件测试等。 材料测试常用的是 LCR数字电桥,阻抗分析仪,网络分析仪,电源,万用表,源表,静电计,半导体参数分析仪,探针台,信号发生器,功率放大器,示波器等等。
比如测试薄膜等材料,需要测试阻抗,容值等,根据频率需要用到数字电桥或者阻抗分析仪,或者测试介电常数,用到阻抗分析仪或者网络分析仪。 数字电桥的频率***般是几Hz~几MHz,阻抗分析仪是几MHz~3GHz,网络分析仪可以测试大于 3GHz的介电常数。根据测试频率选择合适的仪器。 除了介电常数之外,还需要测试IV曲线等,可以用源表测试。 测试小于nA***别的电流,需要用到静电计,万用表等。 需要测试多端器件,可以用双通道源表或者半导体参数分析仪。 两端器件或者三端器件可以用双通道源表测试,比如二极管,三极管等。三端以上器件,就需要用到半导体参数分析仪了,比如吉时利4200A,或者是德科技B1500A。 配合探针台可以实现多端器件的测试。 封装好的半导体器件,需要供电,还要用到电源,或者信号发生器和功率放大器。 测试产生的波形会用到示波器,比如测试三极管的放大倍数的时候等,只要观察波形,都需要示波器。 半导体测试从前到后需要进行非常多的测试项目,所用到的仪器也非常多,以上只是***部分,仅供大***参考。
(文章来源于互联网)