电子显微镜的组成和种类介绍

电子显微镜，简称电镜,经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。

电子显微镜的组成主要有三部分：镜筒、真空装置和电源柜

镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件，这些部件通常是自上而下地装配成***个柱体。电子显微镜下的纤维电子透镜用来聚焦电子，是电子显微镜镜筒中***重要的部件。***般使用的是磁透镜，有时也有使用静电透镜的。它用***个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场使电子轨迹向轴线弯曲形成聚焦，其作用与光学显微镜中的光学透镜（凸透镜）使光束聚焦的作用是***样的，所以称为电子透镜。电子显微镜样品可以稳定地放在样品架上，此外往往还有可以用来改变样（如移动、转动、加热、降温、拉长等）的装置。探测器用来收集电子的信号或次***信号。

真空装置用以保障显微镜内的真空状态，这样电子在其路径上不会被吸收或偏向，由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成，并通过抽气管道与镜筒相联接。

电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成

电子显微镜的种类：

按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。

透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构；扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌，也能与X射线衍射仪或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分分析；发射式电子显微镜用于自发射电子表面的研究。