SmartWLI 便携式白光干涉三维轮廓仪
SmartWLI便携式白光干涉三维轮廓仪
非接触三维表面形貌测量技术
白光干涉测量技术广泛应用于光滑与粗糙表面的三维形貌表征。垂直方向的测量精度可以达到纳米***别。
SmartWLI -便携式白光干涉三维轮廓仪,专用于大尺寸部件表面形貌测量与分析。仪器操作简单,测量时放置于样品表面;独有的三脚支架结构,方便曲面部件测量;外接笔记本电脑完成数据分析,测量结果立体直观呈现。
SmartWLI -便携式白光干涉三维轮廓仪外形紧凑、结构稳固,轻松应对多种测量环境;测速快,精度高,为工业用户提供zuiyou化的产品表面形貌测量条件,适用于产品工艺控制与质量管理。
SmartWLI便携式白光干涉三维轮廓仪具备如下优点:
灵活便携
精度高
测速快
稳定可靠
SmartWLI便携式白光干涉三维轮廓仪技术参数
测量系统 |
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量测原理 | 白光干涉 |
Z轴定位系统 | 压电效应调节系统 |
高度量测范围 | ***大可达400 μm |
干涉物镜系统 | 放大倍数 10× 20× | 视场范围(μm2) 480 × 360 320 × 240 | ***小可分辨横向宽度(μm) 1.20 0.90 | 工作距离(mm) 7.4 4.7 |
注:上述数据皆为估算值。 |
垂直分辨率 | 小于1 nm |
光源系统 | LED |
外观尺寸 | 270 mm(高)× 127 mm(宽)× 165 mm(长) |
毛重 | 3 Kg 约值,取决于具体配置。 |
操作界面 | 笔记本电脑、Windows 7操作系统、DVD刻录。 |
量测时间 | 通常小于1分钟 |
软件系统 |
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SmartWLI | 基于微软Win7操作系统,64位表面形貌测量软件、三维数据可通过接口直接传输至MountainsMap分析软件。 |
MountainsMap | 三维数据分析软件,轮廓及三维影像结果输出、测量数据预处理及后处理、德标(DIN)欧标(EN)ISO标准粗糙度及高度测定、串行处理及测试日志。 |
输出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |