SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪
SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪
非接触三维表面形貌测量技术
白光干涉测量技术广泛应用于光滑与粗糙表面的三维形貌表征。垂直方向的测量精度可以达到纳米***别。
SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪拥有纳米***测试精度,外接PC或笔记本电脑进行实时数据分析。
SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪功能全面,轻松应对各种测试环境。电动XY双轴样品台匹配自动拼接程序,应对大面积测试任务。典型应用包括科学研究、质量控制和工艺管理。
德***GBS公司SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪具备如下优点:
通用型
精度高
测速快
稳定可靠
自动拼接
SmartWLI-扩展型白光干涉三维轮廓仪技术参数:
花岗岩基座、脚架
电动X Y双轴样品台(尺寸:226 x 232 mm2;移动范围:76 x 52mm2)
测量端配物镜转换台、同时兼容4款物镜
PC界面、Windows 7系统,NVIDIA图形处理器具备超速运算功能
SmartWLI形貌测量软件、“自动拼接”功能
MountainsMap三维图像处理软件
作为***款高品质的表面成像与分析软件,MountainsMAP适合实验室、研究机构及工厂各类机能表面的设计、测试或制造设备使用。
MountainsMAP拥有***整套全面的解决方案,专用于表面外观及形貌的成像与分析,提供详尽的三维可视化测量报告。
SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪技术参数
测量系统 |
量测原理 | 白光干涉 |
Z轴定位系统 | 压电效应调节系统 |
高度量测范围 | ***大可达400 μm |
摄像头参数 | CCD摄像头;1624x 1234相素 |
干涉物镜系统 |
放大倍数MAG 视场范围FOV (mm) 横向分辨率(um) | 2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 × 4.12 × 3.06 mm2 - 0.103 × 0.076mm2 10.54 μm - 0.55 μm |
光源 | LED |
测试时间 | 通常<20秒 |
软件系统 |
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SmartWLI | 基于微软Win7操作系统,64位表面形貌测量软件;三维数据可通过接口直接传输至MountainsMap分析软件。 |
MountainsMap | 三维数据分析软件,轮廓及三维影像结果输出、测量数据预处理及后处理、德标(DIN)欧标(EN)ISO标准粗糙度及高度测定、串行处理及测试日志。 |
输出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |
更多SmarWLI系列白光干涉三维轮廓仪产品信息,请访问www.WinWinTec.com与www.smartWLI.de(2012年1月技术数据)
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