SmartWLI 标准型白光干涉三维轮廓仪
SmartWLI 标准型白光干涉三维轮廓仪
--非接触三维表面形貌测量技术
白光干涉测量技术广泛应用于光滑与粗糙表面的三维形貌表征。垂直方向的测量精度可以达到纳米***别。
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