概述：

现今的高性能电子束仪器对变化的环境磁场非常敏感。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度或测量精度下降。SC22系统可降低环境交流磁场并恢复分辨率和精度。

SC22主动式消磁系统主要是由磁场控制器、***或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成，并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。

系统针对外部磁场变化为自动响应，响应时间小于100微秒。AC线路场（50/60 Hz）减 少50 x。

SC22无法消除电梯、火车和交通等直流电场 变化干扰源。若需要同时消除交流磁场与直 流磁场的话可以参考另***款SC24主动式消磁器。                                        

? 提供稳定磁场环境，保护电子束技术方面的 机台不受影响

? 针对环境全时段监控及主动消除交流电磁场

? 低消耗高性能系统

? 智能用户界面自动设定系统

? 在50x 50/60 Hz消除2.5 Hz到5000 Hz交流电场干扰

? 包含全3轴（X，Y，Z）系统

? 能消除高达60 mG（6.0μT）的pk-pk 范围

? 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒 以内

? 具备USB连接埠选项提供监控

产品安装：

SC22主动式消磁系统的线圈由***个完整回路和***段连接控制器的线路组成。完整回路创建***个区域的消除磁场，而另***段连接控制器的线路(此段没有消除磁场的功能)则连接到磁场控制器。完整回路如上页图1所示，以1个红色，绿色和蓝色代表X、Y、Z轴。SC22线圈的X轴和Y轴完整回路长16米，Z轴回路则为20米长。若客户端有个别需求，可以定制更长的线圈来解决。

上页图1的安装适用于大多数SEM机台，电子束柱通常距离房间墙壁1.5米。可以消除的场域（动态范围）取决于完整回路线圈的尺寸和相对于电子束柱的位置。使用5米的X轴和3米的Y轴完整回路以及距离壁1.5米的墙壁，动态范围约为25 mG（2.5μT）pk-pk。

为了严谨地指出SC22主动式消磁器的表现，我们使用***个虚拟房间来显现SC22安装细节作为参考，如图2中所示。电子束柱在3米×5米 X和Y轴完整回路（在电子束柱的上方和下方交叉）和5米×5米 Z轴完整回路的中心。第6页的SC22规格适用于图2的安装方式。

这些被推荐使于配有Gatan成像滤光片（GIF）的TEM也可搭配双回路尺寸的亥姆霍兹线圈。

当房间过大或没有局部墙壁在附件时，定制的框架可用于安装亥姆霍兹线圈，如下页图3所示。但框架限制了机台操作空间，因此只针对无法安装线圈在房间的地方使用。安装在框架的线圈消磁效能可能不如整间房间安装线圈的设计。

产品规格

单位                              Gauss, Tesla, (switchable)

FIELD CANCELLING

Components cancelled                      X, Y, Z fields

外部动态消磁能力 (X & Y)NOTE 1                 60mG (6μ T) 峰峰值 (installation Fig. 2)

外部动态消磁能力 (Z)NOTE 1                      45mG (4.5μ T) 峰峰值 (installation Fig.

消磁因子                                50 X at 50/60 Hz

带宽                                   2.5 Hz - 5000Hz

系统1/f噪声限制低于0.1Hz                   < 100 μG (10 nT) 峰峰值

系统宽带噪声限制                         1μG (100pT) RMS 5 Hz -20 kHz

磁场测量和监测系统

种类显示屏幕                             3.5英寸LCD TFT彩色面板

显示测量值                               X轴感测探头

(每0.4秒更新***次) Y轴感测探头               Z轴感测探头

总向量磁场与感测探头有关

测量带宽                                5 Hz -20 kHz

可选读数单位                              mG RMS

                                        mG pk-pk

                                        μT RMS

                                        μT pk-pk

nT RMS

 nT pk-pk

显示范围（读数）                 X, Y, Z pk-pk 0 - 40.000 mG (0 - 4.0000 μT) (0 -4000.0nT)

      X, Y, Z RMS 0 - 20.000 mG (0 - 2.0000 μT) (0 - 2000.0 nT)

      TOTAL pk-pk 0 - 69.282 mG (0 - 6.9282 μT) ( 0 - 6928.2 nT)

      TOTAL RMS 0 - 34.641 mG (0 - 3.4641 μT) ( 0 - 3464.1 nT)

精确度                         ± 1.0 % of reading ± 1μG (100 pT)

感测探头宽带噪声限制             1μG (100pT) RMS

磁场稳定指示灯                  当 X & Y & Z轴磁场皆< 250 μG RMS，会显示绿色OK指示灯

跳闸指示灯                     如果X、Y、Z轴任***轴上的磁场>250μGRMS，跳闸指示灯会亮起，

      如果磁场<250μGRMS，在60秒后跳闸指示灯会消失。

X，Y，Z轴即时磁场输出

刻度                                     1.0 V/mG (10V/μT)

范围                                     ± 12 Volts

来源阻抗值                                10 k

连接头                                   3 x BNC

带宽                                     5 Hz -20 kHz

电源                               120/240V (+10% -20%) 50/60Hz