真空设备定制：

脉冲激光沉积系统定制、磁控溅射系统定制、二次电子发射系数测试系统……

其他：

真空设备维护、真空设备升***改造、样品台改造、机械加工……

脉冲激光沉积设备（PLD）定制

我们经过多年的技术积累，充分研究了***内外PLD设备的优缺点，开发出了性能优异的PLD系统。

我们可以提供单腔室简易PLD系统和双腔室复杂PLD系统。

图1.单腔室简易型脉冲激光沉积系统(PLD)

图2. 双腔室脉冲激光沉积系统(PLD)

设计特点如下：

• 设计灵活新颖，可根据用户需求定制系统；

• 自主设计的激光加热系统，加热温度1400°C；

• 靶台具有摆动功能，可增加靶材利用率；

• 可配备高压RHEED，用于监测薄膜的生长过程；

• 升***空间大，集成灵活度高，可加配离子源、溅射源等；

• 可与其他真空设备对接；

磁控溅射靶枪定制

1.规格参数

2.特点

• 可以集成到多种***产或进口磁控溅射设备上，靶枪的真空内长度可以定制；

• 安装法兰上带有独立的溅射气体接口；

• 采用独特的气体导流罩将溅射气体引入到靶面，可以在靶材附近实现更高的气压，同时也能降低腔室的气压；

3.用途

• 高校科研院所磁控溅射薄膜材料的研究与制备；

• 本科生或研究生的仪器教学；

二次电子发射系数测试系统定制

二次电子发射系数测试设备（SEY）用于金属或介质材料二次电子发射系数的测试。由于涉及到微弱电信号的探测和捕捉，该设备结构复杂，测试的灵敏度和重复性要求较高，目前***外只有少数几***公司可以研制并生产。为打破垄断，北京汇德信科技有限公司研制开发了具有自主知识产权，专用于导体和介质材料二次电子发射系数分析测试的整套解决方案。

LEO 二次电子发射系数测试系统(SEY)

设计特点如下：

• 栅网的透过率大于80%，收集效率高；

• 采用三层栅网及半球型收集器，可测试材料的二次电子发射系数及二次电子能谱；

• ***次电子枪的能量范围从50 eV到5 KeV，并可扩展到更高能量；

• 具备脉冲信号测量功能，可测试介质材料的二次电子系数；

• 样品台可倾斜，可测试不同入射角度下的二次电子系数；