真空:极限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
恢复工作真空时间:连接手套箱≤10分钟
不连接手套箱,充干燥氮气≤30分钟
本套设备配有8个有机源及2个金属源
金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置
膜厚探头及膜厚仪有***产或者进口可选
金属蒸发源配有1000w电源
有机蒸发源配有可控温电源,控温精度±1℃
技术指标:
1. 真空室的极限真空度达5*10-5pa,漏率为关机12小时≤5pa
2. 真空腔内配有集约样品台***套,配有大挡板和16套小挡板,手动
控制,开关方便快捷,每个小挡板挡两块30*30mm样片
3. 蒸发源共14套,其中10套有机蒸发源,4套金属蒸发源。控温
精度±1℃,可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能
4. 金属蒸发源配4台***带***1000W可控硅调压电源,通过铜电极
连接,两端可夹钨绞丝或者钽舟,钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒
材料,钽舟可以蒸镀粉末状材料,蒸发源采用陶瓷全密封,避免交
叉污染
5. 有机蒸发源配10台***带***温控电源,有机源温度为室温-500度,
可以根据材料及用户需求自行调节
6. 样品台具有旋转、升降功能,可在线更换掩膜板***次,可同时装
载30mm*30mm样品16块。本产品每两个样品都配有小挡板,
并且通过PLC控制步进电机对每个小挡板做16个定位,使机械手
推拉小挡板,样品与蒸发源之间的间距为200-300mm