TEM用亲水性/疏水性氮化硅窗口
技术参数:
亲水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的亲水涂层
疏水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的疏水涂层
表面能:
表面 | 表面能 (mJ/m2) | 标准偏差 |
氮化硅薄膜 | 46.1 | 4.3 |
亲水涂层 | 76.1 | 2.2 |
疏水图层 | 24.6 | 4.4 |
表面粗糙度:
表面 | 表面粗糙度 (nm) | 标准偏差 |
氮化硅薄膜 | Rq=0.65 Ra=0.45 | 0.06 0.02 |
亲水涂层 | Rq=0.57 Ra=0.40 | 0.04 0.03 |
疏水涂层 | Rq=0.66 Ra=0.40 | 0.03 0.05 |
Rq=表面粗糙度; Ra= 平均粗糙度 |
氮化硅薄膜窗规格
窗口类型 | 薄膜厚度 | 窗口尺寸 | 框架尺寸 | 框架厚度 |
| 50nm | 单窗口,500x500µm | Φ3mm | 200µm |
200 nm | 单窗口,500x500µm | Φ3mm | 200µm |
| 15 nm | 3x3,9窗口, 窗口100x100µm | Φ3mm | 200µm |