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价 格:询价
产 地:更新时间:2021-04-30 11:47
品 牌:其他型 号:ET150
状 态:正常点击量:1282
联 系 人: 上海非利加实业有限公司
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日本进口Kosaka台阶仪ET150粗糙度轮廓仪特点:
二次元表面解析,可测量段差
高精度、高分辨率和良好的再现性
FPD面板显示,可测定微细表面形状、段差、粗度等
低测定力,可测定软质材料主要应用:前制程机台(如曝光机、溅镀机、蚀刻机)best recipe 找寻。例如:PVD、CVD、DLC真空溅镀薄膜台阶、应力测试及软质光阻材料等薄膜台阶测量。
日本进口Kosaka台阶仪ET150粗糙度轮廓仪技术参数:
型号
ET150
样品尺寸
φ160x48mm
样品台
尺寸
φ160
倾斜度
±2°(X,Y手动)
承重
2Kg
检出器
触针力
10μN-500μN(1mg-50mg)
范围
600μm(0.1nm分辨率)
驱动
直动式(差动变压器)
触针
R2μm 顶角60°
X轴
测长
100mm
直线度
0.02μm/100mm
速度
0.005-20mm/s
重复性
±5μm(定位)
Y轴
25mm/手动
Z轴
50mm
放大倍数
垂直
50-2000000
水平
1-10000
监控系统
摄像装置
1/3 inch CCD
监视装置
视频捕捉板
移动方法
手动
辅助功能
教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
应用
成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
1σ1nm
电源
AC90-240V 50/60Hz 300VA
外观尺寸
W500xD440xH630mm 120Kg(不含防震台)
数显恒温板(显微镜载物台)
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