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日本进口Kosaka台阶仪ET150粗糙度轮廓仪

价  格:询价

产  地:更新时间:2021-04-30 11:47

品  牌:其他型  号:ET150

状  态:正常点击量:1282

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上海非利加实业有限公司

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配送方式: 上海自提或三方快递

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日本进口Kosaka台阶仪ET150粗糙度轮廓仪特点:

二次元表面解析,可测量段差

高精度、高分辨率和良好的再现性

FPD面板显示,可测定微细表面形状、段差、粗度等

低测定力,可测定软质材料

主要应用:
前制程机台(如曝光机、溅镀机、蚀刻机)best recipe 找寻。例如:PVD、CVD、DLC真空溅镀薄膜台阶、应力测试及软质光阻材料等薄膜台阶测量。


 



产品参数

日本进口Kosaka台阶仪ET150粗糙度轮廓仪技术参数:

型号

ET150

样品尺寸

φ160x48mm

样品台

尺寸

φ160

倾斜度

±2°(X,Y手动)

承重

2Kg

检出器

触针力

10μN-500μN(1mg-50mg)

范围

600μm(0.1nm分辨率)

驱动

直动式(差动变压器)

触针

R2μm  顶角60°

X轴

测长

100mm

直线度

0.02μm/100mm

速度

0.005-20mm/s

重复性

±5μm(定位)

Y轴

测长

25mm/手动

Z轴

测长

50mm

放大倍数

垂直

50-2000000

水平

1-10000

监控系统

摄像装置

1/3 inch CCD

监视装置

视频捕捉板

移动方法

手动

辅助功能

教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等

应用

成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度

重复性

1σ1nm

电源

AC90-240V  50/60Hz 300VA

外观尺寸

W500xD440xH630mm 120Kg(不含防震台)



产品介绍




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