KSI  V300E 单探头超声波扫描显微镜

1.扫描机械机构

Ø X轴和Y轴驱动系统全是磁悬浮高速线性电机

Ø *X、Y轴有效扫描区域：300mm×300mm

Ø *X、Y轴扫描速率：2m/s

Ø X、Y轴扫描加速度：30m/s2

Ø X、Y轴的重复精度：±0.1um

Ø 扫描驱动装置Z轴：自锁步进马达

Ø Z轴的重复精度：±0.25um

Ø 具有自动对焦功能

Ø Z轴升降行程：100mm

2.脉冲信号收发器和换能器

Ø 扫描工作模式：单通道工作模式

Ø 脉冲信号收发器带宽：5MHz～500MHz

Ø 射频总增益：72dB，以1dB/步增减调节

Ø *换能器要求及数量：
15MHz/f=0.75” 1个 ，检测TO封装等的厚型塑封器件
30MHz/f=12.7mm 1个 ，检测常规的塑封器件
40MHz/f=20mm 1个 ，检测IGBT等大功率模组
110MHz/f=8mm 1个 ，检测Flipchip/BGA等薄型器件
175MHz/f=8mm 1个 ，检测*新型结构的器件或新设计
透射模组（含20MHz接收探头） 1套，用来做IC的快速批量检测或PCB板的检测

Ø 模数转换卡ADC 1GHz

Ø 声学图像放大倍数大于200×

3.样品槽/工装/过滤系统

Ø 样品槽尺寸： 546mm×860mm×120mm（W×D×H）

Ø 机器内含自净过滤系统

4.软件

4.1控制软件KSI VISION

Ø 软件界面语言：英文

Ø 扫描模式：

1) 点扫描(A-Scan)

2) 纵剖扫描(B-Scan)

3) 横剖扫描(C-Scan)

4) 斜剖扫描(D-Scan)

5) 多层横剖扫描(X-Scan)

6) 多配置多层横剖扫描(G-Scan)

7) 序列扫描(Sequence-Scan)

8) 自动扫描(Auto-Scan)

9) 3D扫描(3D-Scan)

10) Z扫描(Z-Scan)

11) 高质量扫描(HQ-Scan)

Ø 保存图像格式：BMP、JPG、及保存所有尺寸及声波信号的原始声学图像格式(SAM、SAZ)；

Ø 图像采样像素：32000×32000像素

Ø 采样分辨率：1um （1000像素/毫米）

Ø *小门限时间：2ns

Ø 软件主要功能：

1) 扫描过程中调节增益、门限时间、门限位置、门限延迟；

2) 厚度和距离测量

3) 分层缺陷着色

4) 扫描图像复位功能，轻松重构超扫图像； l

5) 3D图像

6) 设置参数均会自动存储，包括：A波形图、功率设置、增益、数字门限延迟、门限宽度；

7) 阈值、正负波峰相位检测包括：幅值、均值、双极；

8) 被测样品扫描尺寸和定位选择、相位检测、表面跟踪、采样图像分辨率选择；

*4.2 三维图像扫描/旋转/剪切软件包KSI 4D VOLUME

Ø 能对声学图像进行三维扫描、旋转、剖切等处理，直观地再现被测样品的空间感。

*4.3 二维图像分析软件包 KSI VSION VIEW

Ø 易用的图像分析软件包KSI VSION VIEW，包括缺陷面积百分比统计、着色处理等常用的声学图像分析功能；

5.工控机配置：

Ø Intel酷睿双核处理器，核心频率大于2.6GHz

Ø 正版Windows10操作系统英文版

Ø 24寸 平板显示器 2个

Ø 128GB固态硬盘 + 1000 GB 机械硬盘

Ø 8 GB RAM 内存

可选配置包括如下：

① 能压制水花的防误判低噪探头，从5MHz, 10MHz, 30MHz, 40MHz, 50MHz ………….230MH, 300MHz,330Hz,400MHz可选 （共200个多，机器标配已含15MHz探头1个

② 二维图像缺陷分析软件包Ksi vision View

③ 三维图像缺陷分析软件包Ksi Volume4D

④ 主控软件离线版 Ksi Vision （该软件也可以在普通办公电脑上运行）

⑤ 透射探头套装

⑥ 双显示器配置

⑦ 定制特殊样品台