GEMStar XT 产品特点: * 300℃ 铝合金热壁,对流式温度控制 * 175℃温控150ml前驱体瓶,200℃温控输运支管 * 可容纳多片4,6,8英寸样品同时沉积 * 可容纳1.25英寸/32mm厚度的基体 * 标准CF-40接口 * 可安装原位测量或粉末沉积模块等选件 * 等离子体辅助ALD插件 * 多种配件可供选择 | GEMStar XT 产品型号: GEMStar XT: * 8英寸/200 mm基片沉积(4'和6' 可选) * 单/双路前驱体输运支管, 4/8路前驱体瓶接口 * 不可升***为等离子体增强ALD GEMStar XT-R: * 8英寸(200mm)基片沉积(4'和6' 可选) * 单/双路前驱体输运支管, 4/8路前驱体瓶和CF-40接口 * 可升***为等离子体增强ALD |